Полное описание
Богданова, М. А.
ГРНТИ УДК 47.13.33 621.3.049.77-047.84:621.794(043)
Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ИОННЫЙ СОСТАВ -- ПОТОК ИОНОВ НА ЭЛЕКТРОД -- ПРОИЗВОДСТВО -- ТРАВЛЕНИЕ -- ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ СПЕКТР ИОНОВ
Доп. точки доступа: Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-8530)
Шифр в сводном ЭК: a8fade297270e71d1a7b01b8ffa1cde5
Вестник Московского университета : науч. журн. Сер. 1, Математика. Механика / Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, . - Журнал. - Текст : непосредственный. Вестник Московского университета : Науч.журн. Сер. 3, Физика, астрономия / Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, . - Журнал выходит с 1946г. - Текст : непосредственный. Вестник Московского университета. : науч. журн. Сер.11, Право / Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, . - Журнал выходит с 1960г. - Текст : непосредственный. Интеллектуальная система тематического исследования научно-технической информации ("Истина") / С. А. Афонин, А. В. Бахтин, В. Ю. Бухонов [и др.] ; под редакцией В. А. Садовничего, 2014. - 262 с. - Текст : непосредственный. Кудряшов Ю.Б. Радиационная биофизика. Сверхнизкочастотные электромагнитные излучения : учебник / Ю. Б. Кудряшов, А. Б. Рубин, 2014. - 215 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный. Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный. Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Галперин В.А. Исследование и разработка процессов прецизионного травления материалов в технологии производства БИС и СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. А. Галперин, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный. Горобчук А.Г. Численное моделирование плазмохимических реакторов травления : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 / А. Г. Горобчук, 2003. - 16 с. - Текст : непосредственный. Сергиенко А.А. Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. А. Сергиенко, 2006. - 25 с. - Текст : непосредственный. Manenschijn A. Ion bombardment and ion-assisted etching in rf discharges : Diss. / A.Manenschijn, 1991. - 147 p. - Текст : непосредственный. Данилкин Е.В. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Е. В. Данилкин, 2008. - 27 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.П. Композиции на основе десорбента "А" в технологии изготовления интегральных схем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 02.00.01 / В. П. Смирнов, 1991. - 27 с. - Текст : непосредственный. Гусев А.В. Реактивное ионно-плазменное травление пленок алюминия для производства микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. В. Гусев, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный. Митрофанов Е.А. Применение масс-спектрометров для исследования процессов реактивного ионно-лучевого травления кремния и пленок диоксида кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / Е. А. Митрофанов, 1992. - 16 с. - Текст : непосредственный. Резванов А.А. Влияние процесса плазмохимического травления на молекулярную структуру и интегральные свойства диэлектриков с ультранизкой диэлектрической проницаемостью : специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. А. Резванов, 2019. - 24 с. - Текст : непосредственный. Абачев М.К. Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогеносодержащих газах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. К. Абачев, 1990. - 26 с. - Текст : непосредственный. Богданова М.А. Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : специальность 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / М. А. Богданова, 2019. - 22 с. - Текст : непосредственный. Пивоваренок С.А. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с медью и алюминием : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.04 / С. А. Пивоваренок, 2008. - 15 с. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
