• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Цыганков, В. Ю. Разработка методики выбора знаков совмещения при изготовлении специализированных БИС с применением электронно-лучевой литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. Ю. Цыганков. - М., 1990. - 26 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. : Моск. ин-т электрон. машиностроения. Библиогр.:с. 19-20(6 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.3.049.771.14.002:776(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-09385)

    Шифр в сводном ЭК: 9c7ecce6af6af0c74f058eb7a6ecdaa5



    Заказ фрагмента документа ₽