• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Рыбкин, В. В. Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов : учеб. пособие / В.В.Рыбкин,В.И.Светцов. - Иваново : [б. и.], 1989. - 96 с. : ил. - 200 экз. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.:Иванов. хим.-технол. ин-т. Библиогр.: с. 92-96 (65 назв.).

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.382.002

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Светцов, В.И.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-89/69436)

    Шифр в сводном ЭК: eb9018cc48ae7803b193f67a8a5b3dcf



    Заказ фрагмента документа ₽