Полное описание
> Тумаркин, А. В. Технология тонких пленок : текст лекций / А.В.Тумаркин,В.И.Шаповалов. - СПб. : СПбГТУ "ЛЭТИ", 2003. - 64 с. : ил. - 120 экз. - ISBN 5-7629-0512-8. - Текст : непосредственный. В надзаг.:С.-Петерб. гос электротехн. ун-т "ЛЭТИ".Библиогр.: с. 63
ГРНТИ УДК 47.13 621.38-416
Рубрики: Пленочная электроника
Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа: Шаповалов, В.И.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-03/91018)>
Шифр в сводном ЭК: e786e375e7b53814e658955b6f86c5fc
Шаповалов В.И. Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. И. Шаповалов, 2008. - 32 с. - Текст : непосредственный. Барыбин А.А. Поверхностные явления и межфазные процессы / А. А. Барыбин, В. И. Шаповалов, 2000. - 47 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Высокомощное распыление / В. И. Шаповалов, 2016. - 150 с. - Текст : непосредственный. Процессы микро- и нанотехнологий в производстве устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, А. А. Семенов [и др.], 2018. - 58 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Применение линейного анализа устойчивости к исследованию систем : Учеб.пособие / В.И.Шаповалов, 1997. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Повышение надежности подземного самоходного транспорта в условиях калийных рудников (на примере РУП ПО "Беларуськалий") : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.05.06 / В. И. Шаповалов, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный. Тумаркин А.В. Технология оксидных сегнетоэлектрических пленок для сверхвысокочастотных применений : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.06 / А. В. Тумаркин, 2016. - 34 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Синергетические методы и модели структурообразования в открытых системах : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.13.01 / В. И. Шаповалов, 2006. - 48 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Синергетические методы структурообразования в открытых системах : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.13.01 / В. И. Шаповалов, 2002. - 39 с. - Текст : непосредственный. Голованов А.В. Основные положения статистической физики : Учеб.пособие / А. В. Голованов, В. И. Шаповалов, Н. В. Казаков, 2000. - 76 с. - Текст : непосредственный. Вольпяс В.А. Физические основы электронно-ионной технологии : Текст лекций / В.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин, 2004. - 44 с. - Текст : непосредственный. Тумаркин А.В. "Толстые" пленки YBa Cu O для криоэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.02 / А. В. Тумаркин, 1999. - 15 с. - Текст : непосредственный. Барыбин А.А. Управление структурными превращениями в материалах, кинетические и диффузионные процессы : Текст лекций / А.А.Барыбин,В.И.Шаповалов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный. Технология изделий электронной техники : учеб. пособие / А. В. Завьялов [и др.]; под ред. В. И. Шаповалова, 2010. - 95 с. - Текст : непосредственный. Пленки оксинитридов / Е. А. Минжулина, А. А. Козин, В. В. Смирнов, В. И. Шаповалов; под редакцией В. И. Шаповалова, 2018. - 179 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Основные закономерности возникновения хаоса и появления новых структур : Учеб. пособие / В.И.Шаповалов,Н.В.Казаков, 1999. - 59 с. - Текст : непосредственный. Барыбин А.А. Управление фазовыми и химическими превращениями в технологических процессах : Учеб. пособие / А.А.Барыбин,В.И.Шаповалов, 1989. - 45 с. - Текст : непосредственный. Тумаркин А.В. Технология тонких пленок : Текст лекций / А.В.Тумаркин,В.И.Шаповалов, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Основы вакуумной и плазменной технологии. Взаимодействие частиц : конспект лекций / В. И. Шаповалов, 2015. - 79 с. - Текст : непосредственный. Шаповалов В.И. Основы вакуумной и плазменной технологии. Газовый разряд : конспект лекций / В. И. Шаповалов, 2016. - 74 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Чебуркин А.Н. Диагностика источников электронов по двумерным изображениям : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Н. Чебуркин, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный. Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Казаков Н.И. Технология пайки монтажных соединений в производстве РЭА / Н. И. Казаков, В. М. Критский, 1989. - 129 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Петров В.П. Выполнение монтажа и сборки средней сложности и сложных узлов, блоков, приборов радиоэлектронной аппаратуры, аппаратуры проводной связи, элементов узлов импульсной и вычислительной техники. Практикум : выставочные материалы / В. П. Петров, 2014. - 173 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Зоркин А.Я. Формирование вакуумных и эмиссионных параметров электронных приборов : специальность 05.27.02 "Вакуумная и плазменная электроника" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. Я. Зоркин, 2006. - 36 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Мастеров Д.В. Магнетронное напыление и исследование пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2CuзO7- для применений в пассивных высокочастотных устройствах / Д. В. Мастеров, 2009. - 22 с. - Текст : непосредственный. Назаров А.А. Проектирование тестовых схем для аттестации технологичесчких процессов производства СБИС : специальность 05.27.05 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / А. А. Назаров, 2000. - 16 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Поляхов М.Ю. Разработка способа, аппаратных и программных средств контроля электропроводимости и качества металлизации отверстий печатных плат : специальность 05.11.01 "Приборы и методы измерения (по видам измерений) ", 05.11.13 "Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. Ю. Поляхов, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 14(1489) : Электролиты для гальванического меднения : По дан. отеч. и зарубеж. печати 1960-1989 гг. / И.Е.Шпак, 1989. - 86 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Ермолаев Ю.П. Конструкторско-технологические возможности повышения качества пленочных элементов : выставочные материалы / Ю. П. Ермолаев, И. К. Саттаров, 2001. - 147 с. - Текст : непосредственный. Манукянц А.Р. Поверхностные свойства металлических систем / А. Р. Манукянц, В. А. Созаев, 2017. - 219 с. - Текст : непосредственный. Наноматериалы / "Техномаш",открытое АО. 4 : Тонкие пленки как наноструктурированные системы / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, 2008. - 254 с. - Текст : непосредственный. Saito M. Research on the fundamentals for realization of functional film devices using fatty acid salt films / M.Saito, 1991. - 70 p. - Текст : непосредственный. Тумаркин А.В. Технология тонких пленок : Текст лекций / А.В.Тумаркин,В.И.Шаповалов, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный. Thin films and heterostructures for oxide electronics / ed. S. B. Ogale, 2005. - X,419 p. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 3(1546) : Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении : По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1975-1989 гг. / В.Ю.Васильев, 1990. - 56 с. - Текст : непосредственный. Головяшкин, Алексей Николаевич. Тонкоплёночная электроника : учебник / А. Н. Головяшкин, 2022. - 282, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Слуцкая, Валентина Викторовна. Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот / В. В. Слуцкая, 1962. - 398. [1] с. - Текст : непосредственный. Ермолаев Ю.П. Конструкторско-технологические возможности повышения качества пленочных элементов : выставочные материалы / Ю. П. Ермолаев, И. К. Саттаров, 2001. - 147 с. - Текст : непосредственный. Евстифеев Е.В. Получение и исследование физических свойств металлических покрытий на диэлектриках : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Е. В. Евстифеев, 1991. - 18 с. - Текст : непосредственный. Манукянц А.Р. Поверхностные свойства металлических систем / А. Р. Манукянц, В. А. Созаев, 2017. - 219 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Токнова В.Ф. Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.21 / В. Ф. Токнова, 2013. - 18 с. - Текст : непосредственный. Шишов М.А. Самоорганизованные слои полианилина для применения в электронике : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / М. А. Шишов, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный. Наноматериалы / "Техномаш",открытое АО. 4 : Тонкие пленки как наноструктурированные системы / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, 2008. - 254 с. - Текст : непосредственный. Бобрович О.Г. Физико-химические процессы при ионно-ассистированном формировании металлосодержащих покрытий на кремнии и графите : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / О. Г. Бобрович, 2004. - 22 с. - Текст : непосредственный. Сборник научных трудов XXI Международной научно-технической конференции "Высокие технологии в промышленности России" (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), XVIII Международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике", VIII Международной научно-технической конференции "Наноинженерия" / Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана [и др.], 2016. - 399 с. - Текст : непосредственный. Тонкие пленки в электронике : Материалы 7 Международного симпоз. / Международная академия информатизации, 1996. - 326 c. - Текст : непосредственный. Комлев А.Е. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.02 / А. Е. Комлев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Ильин А.С. Упругие и неупругие свойства тонких пленок Si3N4, SiO2-SnO2, SiO2-B2O3 и системы Cu-Se, обусловленные включениями второй фазы : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / А. С. Ильин, 2005. - 17 с. - Текст : непосредственный. Тонкие пленки в электронике : Материалы IV Межрегион.совещ., 1993 г. / Центральный науч.-исследовательский технологический ин-т (Москва), 1993. - 255 c. - Текст : непосредственный. Бейсенханов Н.Б. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Н. Б. Бейсенханов, 2011. - 31 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽