Полное описание
> Жабрев, В. А. Основы субмикронной технологии : учеб. пособие / В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001. - 115 с. : ил. - 170 экз. - Текст : непосредственный. Библиогр.: с.114
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.771.14.002
Рубрики: Интегральные схемы большие -- Производство
Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа: Марголин, В.И.
Мошников, В.А.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-01/81272)>
Шифр в сводном ЭК: 36dc5b6f9f1c7319dc2e21161a636c43
Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В. А. Жабрев, В. Т. Калинников, В. И. Марголин [и др.], 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный. Основы синтеза наноразмерных частиц и пленок / В. И. Грачев, В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик, 2014. - 479 с. - Текст : непосредственный. Жабрев В.А. Диффузионные процессы в стеклах и стеклообразующих расплавах / В.А.Жабрев, 1998. - 188 с. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Сенсоры на основе полевых транзисторов / И. И. Зятьков, А. И. Максимов, В. А. Мошников, 2002. - 55 с. - Текст : непосредственный. Наночастицы, наносистемы и их применение : учеб. пособие / под ред. В. А. Мошникова, О. А. Александровой. Ч. 2 : Углеродные и родственные слоистые материалы для современной наноэлектроники / О. А. Александрова [и др.], 2016. - 329 с. - Текст : непосредственный. Основы нанотехнологии : материалы временных коллективов / Н. Т. Кузнецов, В. М. Новотворцев, В. М. Новоторцев [и др.], 2014. - 397 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Развитие нанотехнологий на основе нанокомплексов / В. И. Марголин, А. А. Потатов, Б. В. Фармаковский, П. А. Кузнецов, 2016. - 189 с. - Текст : непосредственный. Александрова О.А. Физика и химия материалов оптоэлектроники и углеродной наноэлектроники / О. А. Александрова, С. Ю. Давыдов, В. А. Мошников, 2017. - 120 с. - Текст : непосредственный. Нанотехнологии в микро- и наноэлектронике: получение, исследование, моделирование : учебное пособие / И. А. Аверин [и др.]; под редакцией И. А. Аверина, В. А. Мошникова, 2018. - 78 с. - Текст : непосредственный. Моделирование процессов и устройств нанотехнологии / В. А. Тупик, Л. Ю. Аммон, Д. В. Бабичев [и др.].; под редакцией В. А. Тупика, 2017. - 188 с. - Текст : непосредственный. Наноструктурные оксидные материалы в современной микро-, нано- и оптоэлектронике / О. А. Александрова, А. А. Бобков, А. И. Максимов [и др.]; под редакцией В. А. Мошникова, О. А. Александровой, 2017. - 265 с. - Текст : непосредственный. Стекло и керамика ХХ1. Перспективы развития / Рос.АН.Институт химии силикатов им.И.В.Гребенщикова, 2001. - 300 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽