• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Нанотехнологии в микроэлектронике = Nanotechnology in microelectronics / С. П. Авдеев, В. И. Авилов, В. О. Агеев [и др.]; под редакцией О. А. Агеева, Б. Г. Коноплёва ; Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Научно-образовательный центр "Нанотехнологии". - Москва : Наука, 2019. - 511 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Парал. тит. л. англ. - Библиогр. в конце гл. - 300 экз. - ISBN 978-5-02-040201-0. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84
    47.13.07621.384-022.532-047.84

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Наноэлектронные устройства -- Производство

    Аннотация: В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС , многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии.
    Доп. точки доступа:
    Авдеев, С.П.
    Авилов, В.И.
    Агеев, В.О.
    Агеев, О.А.
    Алябьева, Н.И.
    Южный федеральный университет (Ростов-на-Дону). Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения. Научно-образовательный центр "Нанотехнологии"

    Оглавление


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-19/67243)

    Шифр в сводном ЭК: 8f2b29f9fa904cc2b3f96810b03bc04c



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания