Полное описание

Белозубов, Е. М. Минимизация влияния температур на тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы и датчики давления на их основе / Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, Н. В. Громков. - Текст : непосредственный // Измерительная техника = 0368-1025. - 2009. - № 8. - С. 51-54. - Библиогр.: 14 назв.
ГРНТИ 90.27.28 + 29.19.13

Аннотация: Анализ методом минимизации влияния стационарных и нестационарных температур показывает, что в связи с большим количеством факторов, влияющих на температурную чувствительность тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем, не может быть разработан какой-то один универсальный метод, обеспечивающий решение всех задач по минимизации влияния температуры на датчики давления. Для минимизации этого влияния необходимо комплексное использование различных методов.
Доп. точки доступа:
Васильев, В.А.
Громков, Н.В.


Все экземпляры списаны
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -009149-789563)

Шифр в сводном ЭК: 94e0d411aad6616114195cb76fd44798

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽