Приложение
для AndroidПолное описание
Кузьмишкин, Г. С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М., 2013. - С. 53-59. - Библиогр.: 1 назв.
Аннотация: Изложены методики анализа молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники. Рассмотрен метод улавливания и идентификации органических соединений для снижения уровня загрязнения частицами и поддержания химически чистой атмосферы, в частности, приведён детальный анализ источников химических загрязнений воздуха.
Доп. точки доступа:
Севрюкова, Е.А.
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -958851-260785)
Шифр в сводном ЭК: fc9b80ac6b83b23945dc689ee9c985d2
Вяльцев А.А. Оценка риска технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие / А. А. Вяльцев, Е. А. Севрюкова, 2018. - 184 с. - Текст : непосредственный.Севрюкова Е.А. Надзор и контроль в сфере безопасности : учебник для бакалавров / Е. А. Севрюкова; под общ. ред. В. И. Каракеяна, 2014. - 397 с. - Текст : непосредственный.Севрюкова Е.А. Исследование закономерностей изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.13 / Е. А. Севрюкова, 2011. - 29 с. - Текст : непосредственный.Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 53-59Севрюкова Е.А. Измерение наночастиц в атмосфере и воздухе помещений / Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Экология промышленного производства. - М. - 2011. - Вып. 3. - с. 33-37Егоркина Р.Ю. Анализ выбросов загрязняющих веществ в атмосферный воздух в цикле изготовления фотошаблонов в чистых помещениях / Р. Ю. Егоркина, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М. - 2012. - № 3. - с. 27-28Проблемы очистки сточных вод предприятий электронной промышленности от мышьяка и мышьякосодержащих соединений / В. Б. Кольцов [и др.]. - Текст : непосредственный // Естеств. и техн. науки. - М. : "Компания Спутник+", изд-во, 2017. - № 2. - с. 25-33Каракеян В.И. Анализ современных средств стабилизации микроклимата в чистых помещениях микро- и наноэлектроники / В. И. Каракеян, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. - М. : МИЭТ, 2010. - с. 127-135.Егоркина Р.Ю. Оценка влияния деятельности предприятия, производящего фотошаблоны, на окружающую среду / Р. Ю. Егоркина, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Экология промышленного производства. - М. - 2012. - Вып. 4. - с. 32-34Севрюкова Е.А. Экологические аспекты комплексного управления качеством микроклимата в чистых помещениях / Е. А. Севрюкова, Р. Ю. Егоркина. - Текст : непосредственный // Экология промышленного производства. - М. - 2012. - Вып. 4. - с. 35-36Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. - М. - 2013. - с. 53-59Современные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : сборник научных трудов : [ежегодник] / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Севастопольский государственный университет. № 3 : 16-я Юбилейная международная молодежная научно-техническая конференция РТ-2020, Севастополь, 12-16 октября 2020 года / главный редактор Савочкин А. А., 2020. - 246 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.
Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. / "МИЭТ", нац. исслед. ун-т, 2013. - 100 с. - Текст : непосредственный.Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 53-59Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. - М. - 2013. - с. 53-59
Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. / "МИЭТ", нац. исслед. ун-т, 2013. - 100 с. - Текст : непосредственный.Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 53-59Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. - М. - 2013. - с. 53-59
Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. / "МИЭТ", нац. исслед. ун-т, 2013. - 100 с. - Текст : непосредственный.Гуляева Е.И. Анализ производственной и экологической безопасности при изготовлении гетероэпитаксиальных структур / Е. И. Гуляева, В. Б. Кольцов, С. А. Слесарев. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 8-14Гуляева Е.И. Эффективность очистки сточных вод г. Зеленограда / Е. И. Гуляева, В. С. Харин. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 15-20Кузьмичев Н.Ю. Очистка и контроль промышленных вод, применяемых в наноэлектронике / Н. Ю. Кузьмичев, И. Н. Петухов. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 36-42Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 53-59Чернявский С.А. Аналитический метод расчёта концентраций вторичных атмосферных загрязнителей на основе концентраций первичных соединений, полученных со стационарных постов наблюдения в г. Зеленограде / С. А. Чернявский. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природ.-техн. геосистем. - М. - 2013. - с. 86-91Кузьмичёв Н.Ю. Очистка и контроль промышленных вод, применяемых в наноэлектронике / Н. Ю. Кузьмичёв, И. Н. Петухов. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. - М. - 2013. - с. 36-42Кузьмичев Н.Ю. Разработка методов и средств контроля наносодержаний экотоксикантов в объектах современной наноэлектроники / Н. Ю. Кузьмичев, Т. И. Хаханина. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. - М. - 2013. - с. 43-52Кузьмишкин Г.С. Анализ влияния молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники / Г. С. Кузьмишкин, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Инфраструктура объектов природно-технических геосистем : сб. науч. тр. - М. - 2013. - с. 53-59
Заказ фрагмента документа ₽