Приложение
для AndroidПолное описание
Машкина, Е. С. Физико-химические основы технологических процессов микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Е. С. Машкина, Л. Н. Владимирова, Е. Н. Бормонтов ; Министерство науки и высшего образования РФ, Воронежский государственный университет. - Воронеж : Издательский дом ВГУ, 2019. - 171 с. : ил. - Библиогр.: с. 171 (6 назв.). - 40 экз. - ISBN 978-5-9273-2895-6. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84 | |
| 47.13.07 | 621.384-022.532-047.84 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство
Доп. точки доступа:
Владимирова, Л.Н.
Бормонтов, Е.Н.
Воронежский государственный университет
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/73545)
Шифр в сводном ЭК: d927ec3030d11a24f9c0bc86364dc6bb
Машкина Е.С. Кооперативность пред- и постпереходных состояний при плавлении кристаллических веществ с различным типом химической связи : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат. наук:01.04.07 / Е. С. Машкина, 1998. - 17 с. - Текст : непосредственный.Бормонтов Е.Н. Многослойные полупроводниковые структуры с неоднородно распределенными параметрами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / Е. Н. Бормонтов, 2001. - 36 с. - Текст : непосредственный.Бормонтов Е.Н. Физика и метрология МДП-структур : Учеб.пособие для студентов вузов по спец.200.100 "Физика и технология материалов и компонентов электрон.техники" и 200.200 "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / Е.Н.Бормонтов, 1997. - 184 с. - Текст : непосредственный.Машкина Е.С. Физико-химические основы технологических процессов микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Е. С. Машкина, Л. Н. Владимирова, Е. Н. Бормонтов, 2019. - 171 с. - Текст : непосредственный.Компьютерное моделирование электронной структуры фуллерена С60 : учебное пособие / А. В. Тучин, Л. А. Битюцкая, М. Ю. Хухрянский [и др.], 2018. - 73, [1] с. - Текст : непосредственный.Клюкин В.И. Схемотехника электронных устройств : учебно-методическое пособие / В. И. Клюкин, Ю. К. Николаенков, Е. Н. Бормонтов, 2019. - 173 с. - Текст : непосредственный.
Вестник Воронежского Государственного Университета : Науч. журн. Сер., География и геоэкология / Воронежский ун-т. - Журнал выходит с 1993г. - Текст : непосредственный.Ракетно-космическая техника и технология, 2010 : труды Российской научно-технической конференции, посвященной 50-летию образования кафедры "Ракетные двигатели" ВГТУ (г. Воронеж, 28-29 октября 2010 г.) / Федеральное космическое агентство, ОАО "Конструкторское бюро химавтоматики" [и др.], 2010. - 231 с. - Текст : непосредственный.Аналитический контроль качества природных, питьевых и сточных вод / Воронежский государственный университет, 2017. - 222 с. - Текст : непосредственный.Геоинформационное картографирование в регионах России / Воронежский государственный университет, 2017. - 100 с. - Текст : непосредственный.Современные методы и проблемы математической гидродинамики - 2018 / Воронежский государственный университет, 2018. - 293, [3] с. - Текст : непосредственный.Деньги, кредит, банки / Е. Ф. Сысоева, С. А. Абрамов, А. И. Барабанов, И. Т. Затонских, 2017. - 222 с. - Текст : непосредственный.Сычев А.В. Информатика : учебное пособие / А. В. Сычев, 2017. - 125 с. - Текст : непосредственный.Математическое моделирование и информационные технологии в инженерных и бизнес-приложениях / Воронежский государственный университет, 2018. - 387 с. - Текст : непосредственный.Нагина Е.К. Компьютерные технологии в финансовой деятельности : учебное пособие / Е. К. Нагина, Е. Ф. Сысоева, 2017. - 225, [1] с. - Текст : непосредственный.Туровский Я.А. Введение в конструирование перспективных интерфейсов человек - компьютер : учебное пособие / Я. А. Туровский, С. Д. Кургалин, 2017. - 185, [1] с. - Текст : непосредственный.Общая и системная экология: состояние и перспективы развития : учебное пособие / Т. А. Девятова, Л. Н. Хицова, Е. В. Моисеева, В. Г. Артюхов, 2018. - 184, [1] с. - Текст : непосредственный.Дуракова И.Б. Внутренний маркетинг персонала: факторы, стратегия, зарубежный опыт : монография / И. Б. Дуракова, И. В. Ковалева, 2017. - 102, [1] с. - Текст : непосредственный.Пенионжкевич Ю.Э. Современные ускорители заряженных частиц и их приложение : учебное пособие / Ю. Э. Пенионжкевич, В. М. Вахтель, 2018. - 110, [1] с. - Текст : непосредственный.Гасилов В.В. Управление экономической безопасностью организаций / В. В. Гасилов, А. В. Воротынцева, А. Н. Сова, 2017. - 238 с. - Текст : непосредственный.Учет, анализ и контроль в корпорациях : монография / Д. А. Ендовицкий, Н. А. Бреславцева, С. А. Звягин [и др.], 2018. - 329, [1] с. - Текст : непосредственный.Консолидированная финансовая отчетность : учебное пособие / Ю. Б. Волкова, Т. А. Лаврухина, Н. Н. Решетова [и др.], 2017. - 93 с. - Текст : непосредственный.Холявка М.Г. Микробные биотехнологии: теоретический и практический аспекты : учебное пособие / М. Г. Холявка, М. А. Наквасина, В. Г. Артюхов, 2017. - 234 с. - Текст : непосредственный.Холявка М.Г. Инулиназы в условиях различного микроокружения: биофизические, кинетические и структурно-функциональные свойства : монография / М. Г. Холявка, В. Г. Артюхов, 2018. - 285, [1] с. - Текст : непосредственный.Мишон Е.В. Деловые коммуникации : учебное пособие / Е. В. Мишон, 2017. - 88 с. - Текст : непосредственный.Беленова Н.Н. Теория организации / Н. Н. Беленова, 2018. - 57 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМоделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.Манукянц А.Р. Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем / А. Р. Манукянц, 2010. - 23 с. - Текст : непосредственный.Micro-nano technology XIII : материалы временных коллективов / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный.Моисеев К.М. Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники / К. М. Моисеев, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.Мир материалов и технологий. 6(14) : Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Д. М. Мартинес-Дуарт, Р. Д. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда; пер. с англ. А. В. Хачояна; под ред. Е. Б. Якимова, 2007. - 367 с. - Текст : непосредственный.Захарова И.Б. Физические основы микро- и нанотехнологий : выставочные материалы / И. Б. Захарова, 2010. - 200 с. - Текст : непосредственный.
Муслимов А.Э. Управляемая перестройка поверхности кристаллических подложек для формирования эпитаксиальных наноструктур / А. Э. Муслимов, 2018. - 43 с. - Текст : непосредственный.Осипов А.А. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. А. Осипов, 2019. - 19 с. - Текст : непосредственный.Спешилова А.Б. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. Б. Спешилова, 2019. - 21 с. - Текст : непосредственный.The 2010 International workshop on materials for advanced metallization, was held from Mar. 7th to Mar. 10th in Mechelen (Malines), Belgium / International workshop on materials for advanced metallization (2010; Mechelen (Malines)), 2011. - VIII, 536-845 p. - Текст : непосредственный.Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов [и др.], 2012. - 127 с. - Текст : электронный.Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / М. В. Акуленок [и др.]. Т. 2 : Технологические аспекты, 2011. - 252 с. - Текст : непосредственный.The 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Заказ фрагмента документа ₽