• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Кагадей, В. А. Кратковременно ускоренное испарение примесей из ионно- легированных слоев кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:01.04.04 / В. А. Кагадей. - Томск, 1994. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Рос.АН. Сиб.отд-ние. Ин-т сильноточ. электроники. Библиогр.: с.18-19(7назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.3(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-1191)

    Шифр в сводном ЭК: 86aaf80d0581869baa7a5d78d87b152a



    Заказ фрагмента документа ₽