Полное описание
> Generation and growth of nanoparticles in low-pressure plasmas / U.R.Kortshagen,U.V.Bhandarkar,M.T.Swihart,S.L.Girshick. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 4 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 99/208). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.3-4
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЗАПОМИНАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА -- СОЛНЕЧНАЯ БАТАРЕЯ
Доп. точки доступа:
Kortshagen, U.R.
Bhandarkar, U.V.
Swihart, M.T.
Girshick, S.L.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/99/208)>
Шифр в сводном ЭК: cab078565fbcdee3b61948c183d5d0f4
Girshick S.L. Diamond growth chemistry during atmospheric-pressure plasma CVD / S. L. Girshick, J. W. Lindsay, 1996. - 10 p. - Текст : непосредственный.Girshick S.L. Particle nucleation and growth in thermal plasmas / S. L. Girshick, 1993. - 21 p. - Текст : непосредственный.Yu B.W. Atomic carbon vapor as a diamond growth precursor in thermal plasmas / B. W. Yu, S. L. Girshick, 1993. - 33 p. - Текст : непосредственный.Girshick S.L. Thermal plasma synthesis of diamond / S.L.Girshick,J.M.Larson, 1997. - 8 p. - Текст : непосредственный.Lindsay J.W. Effect of surface species concentrations and temperature on diamond film morphology in inductively-coupled RF plasma CVD / J.W.Lindsay,J.M.Larson,S.L.Girshick, 1997. - 7 p. - Текст : непосредственный.Swihart M.T. The thermochemistry and thermal decomposition of the chlorinated disilanes (Si2HnCl6-n, n=0-6) studied by ab initio molecular orbital methods / M.T.Swihart,R.W.Carr, 1997. - 21 p. - Текст : непосредственный.Particle formation during low-pressure chemical vapor deposition from silane and oxygen: measurement, modeling, and film properties / T.Kim,S.-M.Suh,S.L.Girshick и др.;T.Kim, S.-M.Suh, S.L.Girshick et al., 2002. - 413-423 p. p. - Текст : непосредственный.UMSI research report / Univ. of Minnesota(Mn). Supercomputing inst. for digital simulation and advanced computation. 1999/20 : Ab initio structures and energetics of selected hydrogenated silicon clusters containing six to ten silicon atoms / M. T.Swihart,S. L.Girshick, 2002. - 527-532 p. p. - Текст : непосредственный.Yu B.W. Chemical vapor deposition of diamond film with an atmospheric-pressure plasma : Boundary-layer chemistry / B.W.Yu,H.Han,S.L.Girshick, 1993. - 9 p. - Текст : непосредственный.Numerical modeling of gas-phase nucleation and particle growth during chemical vapor deposition of silicon / S.L.Girshick,M.T.Swihart,S.-M.Suh и др., 1999. - 12 p. - Текст : непосредственный.Swihart M.T. Ab initio structures and energetics of selected hydrogenated silicon clusters containing six to ten silicon atoms / M.T.Swihart,S.L.Girshick, 1999. - 11 p. - Текст : непосредственный.Swihart M. analysis of flow, temperature and chemical composition distortion in gas sampling through an orifice during chemical vapor deposition / M.Swihart,S.L.Girshick, 1999. - 35 p. - Текст : непосредственный. Girshick S.L. A model for chemical vapor deposition of diamond in an RF thermal plasma / S.L.Girshick,B.W.Yu, 1994. - Pag.var. - Текст : непосредственный.Generation and growth of nanoparticles in low-pressure plasmas / U.R.Kortshagen,U.V.Bhandarkar,M.T.Swihart,S.L.Girshick, 1999. - 4 p. - Текст : непосредственный.Swihart M.T. An ab initio molecular orbital study of the thermochemistry and reactions of the chlorinated disilenes their isomers(Si2HnCl4-n) / M.T.Swihart,R.W.Carr, 1997. - 23 p. - Текст : непосредственный.Suh S.-M. Numerical modeling of silicon oxide particle formation and transport in a one-dimensional low-pressure chemical vapor deposition reactor / S.-M.Suh,M.R.Zachariah,S.L.Girshick, 2002. - 943-959 p. p. - Текст : непосредственный.
Charnes J.M. Detecting bribery in Jai Alai with control charts / J. M. Charnes, H. S. Gitlow, 1993. - 11 p. - Текст : непосредственный.Podladchikov Y.Y. The role of lithospheric phase transitions for sedimentary basin formation / Y. Y. Podladchikov, A. N.B. Poliakov, D. A. Yuen, 1993. - 13 p. - Текст : непосредственный.Martinez-Herrera J.I. Viscous sintering of spherical particles via finite element analysis / J. I. Martinez-Herrera, J. J. Derby, 1993. - 13 p. - Текст : непосредственный.three-dimensional computation of the force and moment on an ellipsoid settling slowly through a viscoelastic fluid / J. Feng, D. D. Joseph, R. Glowinski, T. W. Pan, 1993. - 25 p. - Текст : непосредственный.Binggeli N. Simulating the amorphization of a-quartz under pressure / N. Binggeli, J. R. Chelikowsky, R. M. Wentzcovitch, 1993. - 12 p. - Текст : непосредственный.crystal structure of the liver fatty acid biding protein.A complex with two bound oleates / J. Thompson, N. Winter, D. Terwey, J. Bratt, 1996. - 41 p. - Текст : непосредственный. Cramer C.J. Development and biological applications of quantum mechanical continuum solvation models / C. J. Cramer, D. G. Truhlar, 1994. - 46 p. - Текст : непосредственный.Cramer C.J. Problems and questions in the molecular modeling of biomolecules / C. J. Cramer, 1994. - 8 p. - Текст : непосредственный.Lyrintzis A.S. The use of a rotating Kirchhoff formulation for High-Speed Impulsive noise / A. S. Lyrintzis, Y. Xue, M. S. Kilaras, 1994. - 10 p. - Текст : непосредственный.Khankari K.K. Applicationof a numerical model for prediction in moisture migration in stored grain / K. K. Khankari, R. V. Morey, S. V. Patankar, 1993. - 19 p. - Текст : непосредственный.Sargent A.L. Electron delocalization in helical bis-quinone anion radicals / A. L. Sargent, J. Almlof, C. A. Liberko, 1994. - 19 p. - Текст : непосредственный.Kannel M.J. Finite element analysis of riveted connections : сборник научных трудов / M. J. Kannel, 1994. - 282 p. - Текст : непосредственный.Formation of the radical anion of cubene and determination of formation, heat of hydrogenation, and olefin strain energy of cubene / P. O. Staneke, S. Ingemann, P. Eaton, M. M. Nico, 1994. - 10 p. - Текст : непосредственный.Roeggen I. An accurate calculation of the three-body potential for the ground state of the helium trimer / I. Roeggen, J. Almlof, 1995. - 41 p. - Текст : непосредственный.3D simulation of flow problems with parallel finite element computations on the Cray T3D / T. Tezduyar, S. Aliabadi, M. Behr, A. Johnson, 1995. - 9 p. - Текст : непосредственный.Keller K.A. three-dimensional simulation of the Kelvin-Helmholtz instability / K. A. Keller, R. L. Lysak, Y. Song, 1999. - 12 p. - Текст : непосредственный.Lee D.-H. MHD waves in a three-dimensional dipolar magnetic field:a search for Pi2 pulsations / D.-H. Lee, R. L. Lysak, 1999. - 17 p. - Текст : непосредственный.Lysak R.L. role of Alfven waves in the formation of Auroral parallel electric fields / R. L. Lysak, Y. Song, 1999. - 19 p. - Текст : непосредственный. Charnes J.M. Vector-autoregressive inference for equally spaced,time-averaged,multiple queue length processes / J. M. Charnes, E. I. Chen, 1994. - 7 p. - Текст : непосредственный.Dai W. Interactions between magnetohydrodynamical discontinuities / W. Dai, P. R. Woodward, 1994. - 26 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПолтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный.Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кормилицын О.П. Механика материалов и структур нано- и микротехники : учебное пособие / О. П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло, 2008. - 216 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Элионная обработка / О. С. Моряков, 1989. - 128 c. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный.Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный.Растова Н.А. Энергетический спектр электронов в двумерных ковалентных структурах с локальными дефектами на поверхности / Н. А. Растова, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный.Мазуренко С.Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев, 1994. - 75 c. - Текст : непосредственный.Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный.Умаров С.И. Взаимодействие алюминия со стронцием, индием и кремнием и разработка высокочистых алюминиевых сплавов : специальность 02.00.01 "Неорганическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / С. И. Умаров, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный.Давыдов В.Н. Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Н. Давыдов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽