Полное описание
Chung, S. -J.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.77-047.84:776
Рубрики: Фотолитография
Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа: Hein, H.
Schulz, J.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6111)
Шифр в сводном ЭК: 7e6e0f5e8f38adc7ba8edb2766da96ae
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Strohrmann M. Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik / M.Strohrmann,J.Mohr,J.Schulz, 1995. - 118 S. - Текст : непосредственный. Vollmer J. Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung / J.Vollmer,H.Hein, 1994. - 89 S. - Текст : непосредственный. Lepik Ü. Haar Wavelets. With Applications / Ü. Lepik, H. Hein, 2014 r=on-line. - Текст : электронный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7308 : Goldgalvanik in der Mikrosystemtechnik. Herausforderungen durch neue Anwendungen : Diss. / N. Dambrowsky, J. Schulz, 2007. - IV, 112 S. - Текст : непосредственный. Chung S.-J. Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists / S.-J.Chung,H.Hein,J.Schulz, 1998. - 94 S. - Текст : непосредственный. Rogge B. Entwicklung,Optimierung und Test von elektromagnetischen Linearaktoren basierend auf LIGA-Mikrotechnik : Diss. / B.Rogge,J.Schulz,J.Mohr, 1996. - 79 S. - Текст : непосредственный. Hein H.-J. Stoffgesetz zur Beschreibung des Thermomechnischen Verhaltens von Salzgranulat : Ein Beitrag zur Endlagerung w@:armefreisetzender radioaktiver Abf@:alle:Diss. / H.-J.Hein, 1991. - 125 S. - Текст : непосредственный. Ultraschallmesstechnik in Forschung und Praxis : Ausgew.Beitr.:Ultraschallwandler, neuere Verfahren, Methoden und Technik der Strukturaufklarung: 1st bilaterales symp. DDR-Polen, Stolberg/Harz 20-23.11.1989 / hrsg. H. -J. Hein, hrsg. R. Millner, 1990. - 150 S. - Текст : непосредственный. Gebhard U. Entwicklung eines miniaturisierten fluidischen Oszillators zur Ansteuerung fluidischer Aktoren fur die minimalinvasive Medizintechnik / U.Gebhard,H.Hein, 1997. - 108 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7378 : Megaschallunterstutzter Stofftransport in LIGA-Mikrostrukturen : Diss. / M. Lisinkova [et al.], 2008. - IV, 111 p. - Текст : непосредственный. Kraus S. Xerogelstrukturen als Sensormatrices : монография / S. Kraus, J. Goschnick ; Ed: C. A. Melendres, A. Tadjeddine, 1996. - 99 S. - Текст : непосредственный. Muller S. Messungen an PZT-Keramiken / S. Muller, 1999. - 33 S. - Текст : непосредственный. Beuchle G. Hydrolyse von Sodalith zur in situ Konditionierung saurer Porenwasser mit technischen Basen durch Neutralisation und Sekundarphasenbildung : сборник научных трудов / G. Beuchle, 1999. - 151 S. - Текст : непосредственный. Stieglitz R. Kann man das Erdmagnetfeld im Labor simulieren? / R. Stieglitz, U. Muller, 1999. - 29 S. - Текст : непосредственный. Bernatzki A. Geometrische Interpretation neuronaler Netze / A. Bernatzki, 1999. - 123 S. - Текст : непосредственный. Seiter Ch. Numerische Simulation turbulenter Auftriebsstromungen in horizontalen Kanalen : сборник научных трудов / Ch. Seiter, 1995. - XI,172 S. S. - Текст : непосредственный. Compatibility of 31 metals,alloys and coatings with static Pb-17Li eutectic mixture / H. Feuerstein, H. Grabner, J. Oschinski, J. Beyer, 1995. - 161 p. - Текст : непосредственный. Schirra M. Das Umwandlungsverhalten der hochwarmfesten martensitischen Stahle mit 8-14 Cr / M. Schirra, H. Finkler, 1995. - 38 S. - Текст : непосредственный. OPTIFER,ein weiterer Schritt zur Entwicklung niedrigaktivierender martensitischer Stahle : сборник научных трудов / M. Schirra, K. Ehrlich, S. Heger, M. T. Hernandez, 1995. - 41 S. - Текст : непосредственный. Lindemann K. Objektorientierte Modellierung am Beispiel eines Mikrosystems zur Messung von Beschleunigungen / K. Lindemann, H. Eggert, W. Suss, 1995. - II,102 S. S. - Текст : непосредственный. Scaffidi-Argentina F. Modellierung des Schwellens und der Tritium-Freisetzung von bestrahltem Beryllium : сборник научных трудов / F. Scaffidi-Argentina, 1995. - XIII,139 S. S. - Текст : непосредственный. Wien A. Ein Beitrag zur Analyse von quasi-optischen Wellentypwandlern in Hochleistungsgyrotrons : сборник научных трудов / A. Wien, 1995. - 129 S. - Текст : непосредственный. Hermanutz D. Neutroneninduzierte Verlagerungsschadigung von Beryllium im Blanket eines (d,t)-Fusionsreaktors / D. Hermanutz, 1995. - V,101 S. S. - Текст : непосредственный. Chung-I C. Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch lonenimplantation : сборник научных трудов / C. Chung-I, 1995. - 254 S. - Текст : непосредственный. Gruber C. Numerische Simulation von Gyrotronkanonen mit BFCPIC und BFCRAY : сборник научных трудов / C. Gruber, 1995. - II,69 S. S. - Текст : непосредственный. Reimann J. Report of working group MHD for the Blanket Concept Selection Exercise (BCSE) / J. Reimann, G. Benamati, R. Moreau, 1995. - 48 p. - Текст : непосредственный. Bethge K. Gerate zum Auffinden und Bewerten von holzzersetzender Faule in Baumen / K. Bethge, C. Mattheck, E. Hunger, 1995. - 36 S. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Elzer M. Die Vieldraht-Proportionalkammern von KASCADE bei Luftschauern mit hoher Teilchendichte / M. Elzer, 1996. - 60 S. - Текст : непосредственный. Kuntz M. Bestimmung der Hohenverteilung stratospharischer Spurengase aus Emissionsspektren eines bodengebundenen Millimeterwellen-Radiometers / M. Kuntz, 1996. - IX,135 S. S. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Боровцов П.В. Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб.пособие / П.В.Боровцов, 1995. - 58 c. - Текст : непосредственный. Баканов Г.Ф. Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению 654300 "Проектирование и технология электронных средств" / Г.Ф.Баканов,Г.В.Петрова, 2002. - 35 с. - Текст : непосредственный. Rogers J. A. Unconventional nanopatterning techniques and applications / J. A. Rogers, H. H. Lee, 2008 r=on-line. - Текст : электронный. Ануфриенко В.В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки : Учеб.пособие по курсу "Технол.процессы и оборудование микроэлектроники" / В.В.Ануфриенко, 1998. - 66 с. - Текст : непосредственный. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный. Nd laser fifth harmonic interaction with polymer films / A.A.Babin,N.M.Bityurin,A.V.Polyakov и др., 1992. - 18 p. - Текст : непосредственный. Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный. Chung S.-J. Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists / S.-J.Chung,H.Hein,J.Schulz, 1998. - 94 S. - Текст : непосредственный. Ивин В.В. Использование математического моделирования в исследовании, разработке и оптимизации фотолитографических процессов / В.В.Ивин,Т.М.Махвиладзе, 2000. - 30 c. - Текст : непосредственный. Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный. Технология и оборудование полиграфического производства. Фототехнология в полиграфии и электронике : Межвед. сб. науч. тр. / РСФСР. Гос. ком. по делам науки и высшей школы, 1991. - 113 с. - Текст : непосредственный. Масленицын С.Ф. Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом / С.Ф.Масленицын,В.Б.Световой, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный. Brauch I.H. Wissenbasierte Modellierung des LIGA-Fertigungsprozesses : Diss. / I.H.Brauch, 1994. - 89 S. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
