• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Александров, С. Е. Технология материалов электронной техники. Процессы химического осаждения из газовой фазы : учеб. пособие / С. Е. Александров. - СПб. : Изд-во С.-Петерб. гос. политехн. ун-та, 2005 (СПб.). - 92 с. : ил. - Библиогр.: с. 91 (10 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: С.-Петербургский гос. политехнический ун-т

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.38.002.3

    Рубрики:
    Электронные материалы -- Осаждение

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-05/25832)

    Шифр в сводном ЭК: 60b9a8fda05f96cd0e2c71bad695904d



    Заказ фрагмента документа ₽