ГПНТБ России - Полное описание

Государственная публичная
научно-техническая библиотека России

Основана в 1958 году

Полное описание

Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht: Tagung Munchen, 8.Nov.1990 / VDI/VDE-Gas, Feinwerktechnik. - Dusseldorf : VDI-Verl., 1990. - 155 S. : Ill. - (VDI-Berichte / Verein dt.Ing., ISSN 0083-5560 ; N870). - ISBN 3-18-090870-X. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(062)

Рубрики:
Фотомаски -- Съезды и конференции

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/1842/870)

Шифр в сводном ЭК: 0005d6002a06e657f8866ea88a5e2a0a

Rechnergestutzte Fabrikplanung'90 : материалы временных коллективов, 1990. - 328 S. - Текст : непосредственный.Mikrotechnik'89 : материалы временных коллективов, 1989. - 256 S. - Текст : непосредственный.Energiehaushalten und CO2-Minderung:Einsparpotentiale durch die Einbindung regenerativer Energietrager : материалы временных коллективов, 1992. - 190 S. - Текст : непосредственный.Umwelt- Vertraglichkeits -Prufung im Industriebau : материалы временных коллективов, 1993. - 211 S. - Текст : непосредственный.Lean office:Neue Anzatze zur besseren Produktivitat im Buro : сборник научных трудов, 1993. - 80 S. - Текст : непосредственный.

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Schalung und Rustung : Rationalisierungspotential im IngenieurbauTagung,Frankfurt,27-28 Sept.,1989, 1989. - 243 S. - Текст : непосредственный.Wasserstoff-Energietechnik 2 : Tagung,Stuttgart,15-16.M@:arz 1989, 1989. - 296 S. - Текст : непосредственный.Zukunft des Dieselmotors : Tagung,Wolfsburg,22-24.Nov.,1988, 1988. - 366 S. - Текст : непосредственный.Flurforderzeuge : Jahrestreffen der Betreiber,24-25 M@:arz,1988, Heidelberg, 1988. - 285 S. - Текст : непосредственный.Kraftwerke fur die Zukunft : Tagungsber.der VDI-Ges.Energietechnik,Darmstadt,7.und 8.,M@:arz,1990, 1990. - 217 S. - Текст : непосредственный.Faserformige Staube : Vorschriften,Wirkungen,Messung,Minderung:Tagung,Heidelberg,11.-13.Sept.1990 / Komission Reinhaltung der Luft im VDI und DIN, 1991. - 649 S. - Текст : непосредственный.Warmenutzungsverordnung:Konzepte,Kosten,Konsequenzen : Tagung,Wurzburg,4.-5.Sept.1990 / Komission Reinhaltung der Luft(KRdL), 1990. - 384 S. - Текст : непосредственный.Wettbewerbsvorteile durch Technologie-Management : Tagung,Essen,8.Nov.1991 / VDI-Ges.Entwicklung,Konstruktion,Vertrieb, 1991. - 139 S. - Текст : непосредственный.Krebserzeugende Stoffe in der Umwelt:Herkunft,Messung,Risiko,Minimierung : Kolloquium,Mannheim,23.-25.Apr.1991 / Kommiss.Reinhaltung der Luft im VDI und DIN, 1991. - 876 S. - Текст : непосредственный.Mess- und Versuchstechnik im Automobilbau:Umweltsimulation : Tagung,Koln,22.-24.Apr.1991 / VDI-Ges.Fahrzeugtechnik, 1991. - 387 S. - Текст : непосредственный.FE-simulation of 3-D sheet metal forming processes in automotive industry : Intern.conf. with workshop,14-16 May 1991,Zurich / VDI-Ges.Fahrzeugtechnik, 1991. - 728 p. - Текст : непосредственный.Schalltechnik'91:Gerauschemission von Maschinen:Messung und Bewertung fur Arbeitsplatz und Umwelt : Tagung,Nurnberg,5.-6.Juni 1991 / Normenausschuss Akustik,Larmminderung und Schwingungstechnik(NALS) im DIN und VDI, 1991. - 193 S. - Текст : непосредственный.

Показать все результаты

Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.

Показать все результаты

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Microcircuit engineering 92 : Proc.of the intern.conf.on microfabrication,held Sept.21-24,1992,Erlangen / Ed.: H. Ryssel, D. Stephani, 1993. - 500 p. - Текст : непосредственный.Microcircuit engineering 91 : Proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti, 1992. - XVII,582 p. p. - Текст : непосредственный.Mieroprocess'89 : Proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama, 1989. - 385 p. - Текст : непосредственный.Optical/laser microlithography II : Proc.of the meet.,1-3 March 1989,San Jose(Ca) / Ed. B. J. Lin, 1989. - VIII,572 p. p. - Текст : непосредственный.Труды научного совета. Т. 3(1) : Материалы научного семинара по теме: "Коррекция эффектов оптической близости в литографии", НИИМЭ, Москва, 30 января 2019 г. / председатель Г. Я. Красников, 2019. - 146 с. - Текст : непосредственный.Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagung,Munchen,14.Nov.1991, 1991. - 137 S. - Текст : непосредственный.Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : Proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek, 1989. - VII,206 p. p. - Текст : непосредственный.Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht: Tagung Munchen, 8.Nov.1990 / VDI/VDE-Gas, Feinwerktechnik, 1990. - 155 S. - Текст : непосредственный.Третий всесоюзный семинар "Микролитография" : Тез. докл. / "Микролитография", всесоюзный семинар (3; 1990; Черноголовка), 1990. - 252 c. - Текст : непосредственный.Polymers in microlithography: Materials and processes : Developed from a symp. at the 197th Mat.meet. of the Amer.chem.soc., Dallas(Tx), Apr.9-14,1989 / Ed. E. Reichmanis, 1989. - XII, 449 p. 449 p. - Текст : непосредственный.Dry processing for submicrometer lithography : Proc,of the meet., 12-13 Oct.1989, Santa Clara(Ca) / Alliot P.; ed. J. Bondur, ed. A. R. Reinberg, 1989. - VII, 307 p. 307 p. - Текст : непосредственный.

Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht: Tagung Munchen, 8.Nov.1990 / VDI/VDE-Gas, Feinwerktechnik, 1990. - 155 S. - Текст : непосредственный.

Заказ фрагмента документа ₽