• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Смирнова, Н. В. Исследование влияния конструктивно-технологических факторов на напряженно-деформированное состояние кремниевых упругих чувствительных элементов интегральных датчиков : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / Н. В. Смирнова. - М., 1996. - 21 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :Моск.гос.авиац.технол.ун-т им.К.Э.Циолковского. Библиогр.:с. 17-18(10 назв.)

    ГРНТИ УДК
    50.09.37681.586.72(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-4733)

    Шифр в сводном ЭК: f18cf92f5ab4e0272535c0b7080c0325