• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Badautschek, T. Neue Chrom Silylamide fur die CVD-Abscheidung chromhaltiger Dunnfilme : Diss. / T.Badautschek. - K@:oln, 1999. - V,127 S. S. : Ill. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.121-126

    ГРНТИ УДК
    31.21.29547.257.6(043)
    31.17.15546.76'281.03:539.216.2(043)

    Рубрики:
    Хроморганические соединения
    Хром, соединения, пленки -- Осаждение

    Кл.слова (ненормированные): ХРОМ -- ХРОМОРГАНИЧЕСКОЕ СОЕДИНЕНИЕ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/20799)

    Шифр в сводном ЭК: 8156fbc8f44f96d2356a818f65b40e8a



    Заказ фрагмента документа ₽