• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Мазуренко, С. Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев. - М. : [б. и.], 1994. - 75 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0029-7. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники (техн.ун-т).Библиогр.:с.73-74(14 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Мануйлов, В.В.
    Матвеев, В.М.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-94/16853)

    Шифр в сводном ЭК: 7ca8063adcb12a124a85a669fcc27eb8



    Заказ фрагмента документа ₽