Полное описание
> Черняев, А. В. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия / А.В.Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 87 c. : ил. - 4500 экз. - ISBN 5-256-00740-8. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 83-86 (66 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.382.002:669 | |
| 621.3.049.77-047.84:669.046.5 |
Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство
Интегральные схемы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/70906)>
Шифр в сводном ЭК: e54c8d8ca3ea9c8df883662f702e0818
Черняев А.В. Электрофизические свойства твердых растворов на основе PbTe:Tl и SnTe:In при изовалентном замещении атомов в подрешетке халькогена : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Черняев, 2005. - 18 с. - Текст : непосредственный.
Черняев А.В. Теория и технология изотермического деформирования осесимметричных деталей жестким инструментом в режиме кратковременной ползучести : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.02.09 / А. В. Черняев, 2011. - 40 с. - Текст : непосредственный.Черняев А.В. Исследование и разработка рациональных компоновок приводов стрелочных переводов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.22.08:05.02.18 / А. В. Черняев, 1996. - 24 с. - Текст : непосредственный.Дмитриенко В.П. Экологический мониторинг техносферы : учеб. пособие / В. П. Дмитриенко, Е. В. Сотникова, А. В. Черняев, 2014. - 363 с. - Текст : непосредственный.Черняев А.В. Оптимизация элементов авиационных конструкций из композиционных материалов в дискретной постановке : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 06.07.02 / А. В. Черняев, 2009. - 19 с. - Текст : непосредственный.Черняев А.В. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия / А.В.Черняев, 1990. - 87 c. - Текст : непосредственный.Цыбульский А.С. Электрофизические методы очистки воды / А. С. Цыбульский, А. В. Черняев. - Текст : непосредственный // Экология промышленного производства. - М. - 2014. - Вып. 2. - с. 27-31Черняев А.В. Обеззараживание воды с помощью безэлектродных УФ ламп / А. В. Черняев, А. С. Цыбульский. - Текст : непосредственный // Энерго- и ресурсосберегающие экологически чистые химико-технологические процессы защиты окружающей среды : II Междунар. науч.-техн. конф., 6-8 дек. 2016 г., Белгород : сб. докл. / Белгор. гос. технол. ун-т им. В. Г. Шухова, Хим.-технол. ин-т [и др.]. - Белгород : Белгор. гос. технол. ун-т им. В. Г. Шухова, 2016. - с. 161-166Черняев А.В. Разработка алгоритмов и программ совместного схемотехническо-электрофизического моделирования биполярных БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. В. Черняев, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Черняев А.В. Географическая информационная система малого речного бассейна и особенности её формирования в задачах моделирования нефтяных загрязнений / А. В. Черняев, А. А. Павлов. - Текст : непосредственный // Информационные технологии. - М. - 2014. - № 2. - с. 60-64Черняев А.В. Волочение труб из анизотропного упрочняющего материала : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.03.05 / А. В. Черняев, 1998. - 24 с. - Текст : непосредственный.Черняев А.В. Моделирование процессов осаждения нефтяных загрязнений на береговую поверхность малых рек / А.В. Черняев, А.А. Павлов // Информационные технологии. - М. - 2009. - № 11. - с. 37-40
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный.Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный.Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный.Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный.Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный.Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный.Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный.Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
Заказ фрагмента документа ₽