• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Черняев, А. В. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия / А.В.Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 87 c. : ил. - 4500 экз. - ISBN 5-256-00740-8. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 83-86 (66 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.382.002:669
    621.3.049.77-047.84:669.046.5

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы -- Производство
    Интегральные схемы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/70906)

    Шифр в сводном ЭК: e54c8d8ca3ea9c8df883662f702e0818



    Заказ фрагмента документа ₽