• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Березина, Н. В. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.13 / Н. В. Березина. - М., 2001. - 27 с. : ил. + 70 экз. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). Библиогр.: с. 26-27 (11 назв.)

    ГРНТИ УДК
    67.53.25697.9:621.38(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-6007)

    Шифр в сводном ЭК: 76c842cf6fe419f51a7aedb5a2cc5320



    Заказ фрагмента документа ₽