• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Скворцов, А. М. Дефектообразование и технологии создания кремниевых подложек для интегральных схем вычислительной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.13.05 / А. М. Скворцов. - СПб, 1999. - 75 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.:с. 70-75

    ГРНТИ УДК
    50.09004.38'144:621.3.049.77(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-5131)

    Шифр в сводном ЭК: 312cc283a3580740aac185a0e5bcdb5c



    Заказ фрагмента документа ₽