• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Симакин, С. Б. Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.06 / С. Б. Симакин. - М., 2009. - 48 с. : ил. - Библиогр.: с. 44-48(52 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.76:658.562(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар09-3849)

    Шифр в сводном ЭК: 4ff3289b0c3e52f0fd2f1e75dcdf2933



    Заказ фрагмента документа ₽