• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Активируемые процессы технологии микроэлектроники : сб. науч. тр. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) ; Под ред. И.Н.Сорокина. - М. : [б. и.], 1994. - 210 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0026-2. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:в конце ст.

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76.002
    47.13.11

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Сорокин, И.Н.\ред.\
    Московский ин-т электронной техники

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-94/16799)

    Шифр в сводном ЭК: 6e0f9794c7cde72d169ade3f51c255eb



    Заказ фрагмента документа ₽