• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Гудкова, С. А. Исследование структуры и свойств двух и трехкомпонентных оксидов TIxAl1-xOy, сформированных методом атомарно-слоевого осаждения : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / С. А. Гудкова. - 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (11т назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.33537.226:539.216.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИКИ -- КАРТЫ ПАМЯТИ -- ЛОГИЧЕСКИЕ СХЕМЫ -- МДП-СТРУКТУРЫ -- ПОДЗАТВОРНЫЕ ДИЭЛЕКТРИКИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ЭЛЕМЕНТЫ
    Аннотация: Создание методики формирования тонких пленок двух и трехкомпонентных оксидов TixAl1-xOy посредством атомарно-слоевого осаждения в широком диапазоне концентраций. Изучение их физико-химических и структурных свойств для применения в электронном и медицинском материаловедении.
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-3596)

    Шифр в сводном ЭК: d7e55e9a68f6b8b631d4bff7ea6e869b



    Заказ фрагмента документа ₽