• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Лазерное осаждение сплавов карбида кремния / ВЦП. - 5 c. - Пер.ст. Laser deposition of silicon carbid alloys / A. Black из журн.: // Journal of Applied Physics. - 1988. - Vol. 64, N 5. - P. 2403-2404. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: 1 назв.
    ГРНТИ 47.09.29 + 61.31.47

    Рубрики:
    Кремний, карбиды, пленки

    Кл.слова (ненормированные): КАРБИД -- КРЕМНИЙ -- ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ПРОПАН -- СИЛАН
    Доп. точки доступа:
    Black, A.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06934003150)

    Шифр в сводном ЭК: bff99bd80ffd6925546d39af7798e9f0



    Заказ фрагмента документа ₽