• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Капитонов, А. А. Робастное управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.01 / А. А. Капитонов. - 2014. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 (8 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33621.315.592.9(043)

    Кл.слова (ненормированные): ВЫРАЩИВАНИЕ -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-14348)

    Шифр в сводном ЭК: cc210ef4e36c83ac74929a10bf1e796d



    Заказ фрагмента документа ₽