• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Plasma processing : papers presented at the 3rd intern.conf.on reactive plasmas held in Nara,on Jan.21-24,1997 / ICRP-3;Ed.:Y.Kawai et.al. - Tokyo : [s. n.]. - Текст : непосредственный.
    Pt. 1 : Regular papers,short notes & review papers. - 1997. - 4547-5024 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics, ISSN 0021-4922 ; vol.36,N 7B)

    Библиогр.в конце статей.Указ.в конце книги

    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.04:533.9(062)
    31.15.2966.088(063)
    66.091.088(063)

    Рубрики:
    Плазменная обработка материалов -- Съезды и конференции
    Плазмохимия -- Съезды и конференции
    Синтез -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    International conference on reactive plasmas(3rd;1997;Nara)
    Экз-ры полностью 927fbd779c95258bd6bf71946e56e72e
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/Vol.36,N 7B/1)

    Шифр в сводном ЭК: 927fbd779c95258bd6bf71946e56e72e



    Заказ фрагмента документа ₽