• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Курочка, С. П. Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций : учеб. пособие / С. П. Курочка, А. А. Сергиенко ; Нац. исслед. технол. ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники. - М. : МИСиС, 2015. - 81 с. : ил. - Библиогр.: с. 81. - 70 экз. - ISBN 978-5-87623-940-2. - Текст : непосредственный.
    Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
    Содержание:

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.383
    621.384.3
    ББК
    32.85

    Рубрики:
    Полупроводники -- Фотоэлектрические свойства

    Кл.слова (ненормированные): НАНОЛИТОГРАФИЯ -- НАНОРАЗМЕРНАЯ ГЕТЕРОСТРУКТУРА -- НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ОДНОЭЛЕКТРОННЫЙ ТРАНЗИСТОР -- ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР -- ЭЛЕКТРОНИКА
    Аннотация: В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии – молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические – зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор. Предназначено для магистрантов, обучающихся по направлениям 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
    Доп. точки доступа:
    Сергиенко, А.А.
    Национальный исследовательский технологический ун-т "МИСиС" (Москва). Кафедра технологии материалов электроники

    Перейти к просмотру издания


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-15/27471)

    Шифр в сводном ЭК: 5c97352fa56b01f84cf637148c6cded6



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания ЭБС IPR SMART