• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Электрическая активность имплантированных ионами инертных газов слоев кремния, обусловленная примесью кислорода / Н.М.Казючиц,В.С.Вариченко,А.Ю.Дидык и др. - Дубна : [б. и.], 1996. - 10 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-96-231). - 310 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.002:669(04)

    Рубрики:
    Кремний -- Ионное внедрение

    Доп. точки доступа:
    Казючиц, Н.М.
    Вариченко, В.С.
    Дидык, А.Ю.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Р14-96-231)

    Шифр в сводном ЭК: 63ce8f7ef2f91043495525a47ee3b7e8



    Заказ фрагмента документа ₽