• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Никонов, А. М. Физические процессы в технологическом плазменном реакторе для магнетронного напыления функциональных покрытий с ионным стимулированием : специальность: 01.04.08 - физика плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Никонов А. М. ; Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова. - 2019. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (22 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    55.22.19621.793.74(043)

    Кл.слова (ненормированные): ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИНДУКТИВНЫЙ КАНАЛ -- КАНАЛ ПОСТОЯННОГО ТОКА -- КОМБИНИРОВАННЫЙ РАЗРЯД -- ПЛАЗМЕННАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ПЛАЗМЕННЫЕ РЕАКТОРЫ -- ПОКРЫТИЯ
    Доп. точки доступа:
    Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-5716)

    Шифр в сводном ЭК: f289e81709d3f7a67d539ed80055c27e



    Заказ фрагмента документа ₽