ГПНТБ России - Полное описание

Государственная публичная
научно-техническая библиотека России

Основана в 1958 году

Полное описание

Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek ; Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek. - Bellingham(Wa)) : [s. n.], 1989. - VII,206 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1138). - ISBN 0-8194-0174-9. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.206

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(062)

Рубрики:
Фотолитография -- Съезды и конференции
Интегральные схемы -- Технический контроль -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Lacombat, M.J.\ed.\
Wittekoek, S.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/7309/1138)

Шифр в сводном ЭК: 0b1bec0ecbe9e207ee6da0443d136ac7

Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : Proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek, 1989. - VII,206 p. p. - Текст : непосредственный.

Fiber optic systems for mobile platforms III : материалы временных коллективов / Ed. N. E. Lewis, 1990. - VI,202 p. p. - Текст : непосредственный.IECON'87 : материалы временных коллективов / Ed. P. Gold, 1987. - IX, 465-568 p. 465-568 p. - Текст : непосредственный.Optics, illumination, and image sensing for machine vision II. : материалы временных коллективов / Ed. D. J. Svetkoff, 1988. - VI, 218 p. 218 p. - Текст : непосредственный.Real-time image processing concepts and technologies : материалы временных коллективов / Ed. J. Besson, 1988. - VI, 144 p. 144 p. - Текст : непосредственный.Imaging applications in the work world : материалы временных коллективов / Ed. R. Clouthier, 1988. - VI, 117 p. 117 p. - Текст : непосредственный.Sensing, discrimination, and signel processing and superconducting materials and instrumentation : материалы временных коллективов / Ed. R. Nichols, 1988. - VII, 185 p. 185 p. - Текст : непосредственный.Space structures, power, and power conditioning : материалы временных коллективов / Ed. R. F. Askew, 1988. - VIII, 360 p. 360 p. - Текст : непосредственный.Space station automation III : Proc. of the 3 meet. 2-4 Nov. 1987, Cambridge (Ma) / Ed. W. C. Chiou, 1987. - VI,186 p. p. - Текст : непосредственный.Materials and technologies for optical communications : материалы временных коллективов / Ed. A. P. Brenac, 1988. - VIII, 170 p. 170 p. - Текст : непосредственный.Quantum wells and superlattices in optoelectronic devices and integrated optics : материалы временных коллективов / Comp. A. R. Adams, 1988. - VIII, 134 p. 134 p. - Текст : непосредственный.Replication and molding of optical components : материалы временных коллективов / Ed. M. J. Rield, 1988. - VIII,176 p. p. - Текст : непосредственный.Infrared optical materials and fibers V : материалы временных коллективов / Ed. P. Klocek, 1988. - VI,162 p. p. - Текст : непосредственный.Intelligent robots and computer vision : материалы временных коллективов / Ed.: D. P. Casasent, E. L. Hall, 1987. - VIII,665 p. p. - Текст : непосредственный.Mobile robots II : материалы временных коллективов / Ed.: W. J. Wolfe, W. H. Chun, 1988. - VI,339 p. p. - Текст : непосредственный.IECON'87 : сборник научных трудов / Ed. M. F. Schlecht, 1987. - VIII,181-464 p. p. - Текст : непосредственный.IECON'87 : материалы временных коллективов / Comp. A. Abramovich, 1987. - VIII,569-752 p. p. - Текст : непосредственный.IECON'87 : материалы временных коллективов / Ed. R. J. Niederjohn, 1987. - VIII,965-1156 p. p. - Текст : непосредственный.Industrial optoelectronic measurement systems using coherent light : материалы временных коллективов / Comp. W. F. Fagan, 1988. - VIII,224 p. p. - Текст : непосредственный.Optical devices in adverse environments : материалы временных коллективов / Ed. R. A. Greenwell, 1988. - VIII,182 p. p. - Текст : непосредственный.Technologies for optoelectronics : материалы временных коллективов / Ed.: R. F. Potter, J. M. Bulabois, 1988. - IV,171 p. p. - Текст : непосредственный.

Показать все результаты

Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.

Показать все результаты

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Microcircuit engineering 92 : Proc.of the intern.conf.on microfabrication,held Sept.21-24,1992,Erlangen / Ed.: H. Ryssel, D. Stephani, 1993. - 500 p. - Текст : непосредственный.Microcircuit engineering 91 : Proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti, 1992. - XVII,582 p. p. - Текст : непосредственный.Mieroprocess'89 : Proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama, 1989. - 385 p. - Текст : непосредственный.Optical/laser microlithography II : Proc.of the meet.,1-3 March 1989,San Jose(Ca) / Ed. B. J. Lin, 1989. - VIII,572 p. p. - Текст : непосредственный.Труды научного совета. Т. 3(1) : Материалы научного семинара по теме: "Коррекция эффектов оптической близости в литографии", НИИМЭ, Москва, 30 января 2019 г. / председатель Г. Я. Красников, 2019. - 146 с. - Текст : непосредственный.Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagung,Munchen,14.Nov.1991, 1991. - 137 S. - Текст : непосредственный.Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : Proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek, 1989. - VII,206 p. p. - Текст : непосредственный.Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht: Tagung Munchen, 8.Nov.1990 / VDI/VDE-Gas, Feinwerktechnik, 1990. - 155 S. - Текст : непосредственный.Третий всесоюзный семинар "Микролитография" : Тез. докл. / "Микролитография", всесоюзный семинар (3; 1990; Черноголовка), 1990. - 252 c. - Текст : непосредственный.Polymers in microlithography: Materials and processes : Developed from a symp. at the 197th Mat.meet. of the Amer.chem.soc., Dallas(Tx), Apr.9-14,1989 / Ed. E. Reichmanis, 1989. - XII, 449 p. 449 p. - Текст : непосредственный.Dry processing for submicrometer lithography : Proc,of the meet., 12-13 Oct.1989, Santa Clara(Ca) / Alliot P.; ed. J. Bondur, ed. A. R. Reinberg, 1989. - VII, 307 p. 307 p. - Текст : непосредственный.

Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : Proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek, 1989. - VII,206 p. p. - Текст : непосредственный.

Заказ фрагмента документа ₽