Полное описание
Образование фазы силицида при имплантации низкоэнергетичных ионов Mo+ и Ta+ в кремний / Э.Х.Еникеев,А.Г.Любимов,О.Р.Людчик и др.;... Отд. колебаний. - М. : [б. и.], 1990. - 24 с. : ил. - (Препринт / Институт общей физики(Москва) ; 72). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.33 621.315.592:669.046.516(04)
Рубрики: Ионное внедрение
Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Доп. точки доступа: Еникеев, Э.Х.
Любимов, А.Г.
Людчик, О.Р.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/72)
Шифр в сводном ЭК: ea2b7c4eb3bf3f8e6850c4b0c8c901aa
Моделирование флюоресценции димеров благородных газов в импульсном самостоятельном разряде / К. С. Гочелашвили, А. В. Демьянов, И. В. Кочетов, Л. Р. Янгуразова, 1991. - 25 с. - Текст : непосредственный. Об особенностях твердорастворимого упрочнения в сплавах на основе алюминия, никеля, железа и циркония, легированных переходными металлами / В. О. Абрамов, О. В. Абрамов, А. Н. Белоконов, 1991. - 41 с. - Текст : непосредственный. Сложение мощностей генераторов ВЧ-накачки газоразрядных лазеров / А. П. Минаев, П. А. Полушин, А. Г. Самойлов, С. А. Самойлов, 1993. - 17 с. - Текст : непосредственный. Влияние процессов фотоиндуцированного поглощения в лазерных кристаллах на их термооптические свойства / С. П. Насельский, Г. А. Несененко, В. А. Смирнов, И. А. Щербаков[, 1993. - 43 с. - Текст : непосредственный. Зыбин Д.Н. Исследование электрических характеристик CO -лазеров с поперечной ВЧ-накачкой / Д. Н. Зыбин, Д. Е. Проценко, Т. А. Тихомирова, 1993. - 47 с. - Текст : непосредственный. Воронков С.Н. Плазма в замедляющей структуре вакуумного сильноточного релятивистского СВЧ генератора / С. Н. Воронков, О. Т. Лоза, П. С. Стрелков, 1993. - 39 с. - Текст : непосредственный. Степанов Е.В. Управление параметрами излучения перестраиваемых диодных лазеров на основе солей свинца с двойной гетероструктурой при работе в импульсно-периодическом режиме / Е. В. Степанов, 2002. - 25 с. - Текст : непосредственный. Понуровский Я.Я. Диодная лазерная спектроскопия полосы этилена в области 960 -1030 см -1 / Я. Я. Понуровский, Е. В. Степанов, 2002. - 15 с. - Текст : непосредственный. Киселев В.А. Неколлинеарные дифракционные преобразования поверхностных волн в фокусирующих волноводных решетках / В. А. Киселев, С. Н. Шапошников, 1990. - 37 c. - Текст : непосредственный. Иваненков Г.В. Образование плотной плазмы при быстром электрическом взрыве металла / Г. В. Иваненков, Т. А. Новикова, 1992. - 26 с. - Текст : непосредственный. Применение тонких пленок для создания пьезоэлектрических преобразователей акустомеханических сигналов / С. В. Бирюков, Ю. И. Головко, В. М. Мухортов, 1991. - 11 с. - Текст : непосредственный. Касоев С.Г. Система автоматизации лазерных спектрофотометров на основе контроллера NI 6251 USB / С. Г. Касоев, П. В. Зырянов, Е. В. Степанов, 2010. - 26 с. - Текст : непосредственный. Яковленко С.И. Основные идеи физики плазменных лазеров / С. И. Яковленко, 1998. - 20 с. - Текст : непосредственный. Неупругое туннелирование куперовских пар в с-направлении в контактах на микротрещине в Bl Sr CaCu Oз / Я. Г. Пономарев, Е. Б. Цокур, М. В. Судакова, 1999. - 19 с. - Текст : непосредственный. Relativistic and charge-displacement self channeling of intense ultra short laser pulses in plasma / K. Boer, A. B. Borisov, A. V. Borovskiy, 1991. - 53 p. - Текст : непосредственный. Арнольд Н.Д. Феноменологическое описание спиральных волн при нагреве металлов излучением / Н. Д. Арнольд, Н. А. Кириченко, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный. Касоев С.Г. Компьютерный комплекс для исследования пульса / С. Г. Касоев, 2004. - 23 с. - Текст : непосредственный. Излучение и динамика плазмы сильноточных разрядов через полые газовые оболочки / А. Бартник, Г. В. Иваненков, Л. Карпински, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный. Ликин К.М. Численные расчеты эффективности ЭЦ нагрева плазмы в стеллараторе Л-2 / К. М. Ликин, Б. Д. Очиров, 1991. - 33 с. - Текст : непосредственный. Булатова О.В. Программное обеспечение сканирования двумерных пространственных спектров в полярной системе координат / О. В. Булатова, В. В. Паненко, К. И. Воляк, 1990. - 31 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный. Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный. Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Будилов В.В. Технология вакуумной ионно-плазменной обработки : учебное пособие / В. В. Будилов, Р. М. Киреев, С. Р. Шехтман, 2007. - 155 с. - Текст : непосредственный. Перспективные методы модификации конструкционных материалов : Обзор по отеч. и зарубеж. источникам / М-во атомной энергетики и промышленности СССР. Ч. 1 : Модификация поверхности ионной имплантацией, 1989. - 46 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Титов В.В. Ионная имплантация: перспективы и альтернативы / В. В. Титов, 1997. - 15 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Злобин В.Н. Ионная имплантация в энергетике и машиностроении : монография / В. Н. Злобин, И. П. Васильев, 2018. - 210 с. - Текст : непосредственный. Вольпяс В.А. Физика слабоионизованной плазмы : Прикладные вопросы ионно-плазменного распыления / В.А.Вольпяс,А.Б.Козырев, 1997. - 130 с. - Текст : непосредственный. Численные и экспериментальные методы исследования получения двухзарядных ионов для целей имплантации / М. Турек [и др.], 2013. - 8 с. - Текст : непосредственный. Абдрашитов В.Г. Таблицы угловых распределений ионов при многократном рассеянии для потенциала ZBL / В. Г. Абдрашитов, В. В. Рыжов, В. В. Стародумов, 1993. - 34 с. - Текст : непосредственный. Быковский Ю.А. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов / Ю. А. Быковский, В. Н. Неволин, В. Ю. Фоминовский, 1991. - 237 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
