• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Волков, Ю. П. Экспериментальное исследование физических свойств объектов твердотельной микроэлектроники на основе многофункционального комплекса сканирующей зондовой микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / Ю. П. Волков. - Саратов, 1998. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 17-20 (29 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76:537.533.35(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-4311)

    Шифр в сводном ЭК: c5408e046364c69554a1b2b2f4b7022e



    Заказ фрагмента документа ₽