• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Морозова, А. А. Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. А. Морозова. - 2015. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 (12 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    31.17.15546.78-31.03:539.216.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): ВОЛЬФРАМА ОКСИД -- ОСАЖДЕНИЕ -- ПЛЕНКИ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-6096)

    Шифр в сводном ЭК: b58ff3cb11f3bc9a72be92d2ceb240a3



    Заказ фрагмента документа ₽