Приложение
для AndroidПолное описание
Forschungszentrum (Karlsruhe).
Wissenschaftliche Berichte : дис. ... / FZKA. - Karlsruhe. - 19 - . - Текст : непосредственный.
7286 : Nanokontaktdrucken mit AFM-gesteuert phasenseparierten Blockcopolymerschichten : Diss. / R. Groger. - Karlsruhe, 2007. - VI, 130 S. : Ill. - Рез. англ. - Библиогр.: с. 121-130 (129 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.3.049.76-047.84:776(043) |
Рубрики:
Электронолитография
Доп. точки доступа:
Forschungszentrum (Karlsruhe)
Копия:
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/7286)
Шифр в сводном ЭК: cbc07b761efdefcaa2e8ae162fbd4717
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| |
Sanchez-Espinoza V.H. Validation of the reflood model of the RELAP5/MOD3.2.2 gamma usingexperimental data from the integral facility LOFT LP-LB-1 / V. H. Sanchez-Espinoza, 2001. - 39 p. - Текст : непосредственный.Engelko A. Optimierungsregeln fur Halbleiteroffnungsschalter in Hochspannungspulsgeneratoren sehr hoher Leistung : сборник научных трудов / A. Engelko, 2002. - 109 S. - Текст : непосредственный.Hofmann H. XCharge - ein Programm zur Berechnung der Schichtladungsverteilung niedrig gelandener Phyllosilikate mit Hilfe der Alkylammonium-Methode : сборник научных трудов / H. Hofmann, A. Bauer, L. N. Warr, 2002. - IV, 26 S. 26 S. - Текст : непосредственный.Fessler F. Abschatzung des diffusen y-Flusses im PeV-Bereich basierend auf Messungen des KASCADE Luftschauerexperiments : сборник научных трудов / F. Fessler, 2002. - 96 S. - Текст : непосредственный.Trapp J. Untersuchungen zur Resistenzentwicklung von Tumorzellinien gegenuber Apoptose-Induktoren : сборник научных трудов / J. Trapp, 2002. - 97-109 S. S. - Текст : непосредственный.International fusion material irradiation facility (IFMIF): simulation and neutronics analyses of the high flux test module / S. P. Simakov, U. Fischer, V. Heinzel, U.von Mollendorff, 2002. - 59 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7315 : Ressourcen-und Abfallmanagement von Cadmium in Deutschland / K. -R. Brautigam [et al.], 2008. - 114 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7457 : Measurement of the energy spectrum of ultra-high energy cosmic rays using hybrid data of the Pierre Auger Observatory : Diss. / F. Schussler, 2009. - III, 136 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7452 : Molecular geochemistry in hydrogeology: a pathway to reactive transport process understanding in natural systems / T. Schafer, 2009. - 284 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7432 : Stability analysis of the high performance light water reactor : diss. / T. Ortega Gomes, 2009. - 120 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7471 : Diesel-Dampfreformierung in Mikrostrukturreaktoren : Diss. / J. Thormann, 2009. - II, 160 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7392 : State-of-the-art of high power gyro-devices and free electron masers update 2007 / M. Thumm, 2008. - 111 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7385 : Trendbestimmung stratospharischer Spurengase mit Hilfe bodengebundener FTIR-Messungen : Diss. / S. Mikuteit, 2008. - IV, 150 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7204 : Interaction and phase relaxation in disordered nanowires and quantum hall systems : Diss. / T.Ludwig, 2006. - II, 131 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7206 : Bestimmung der Tagesgange kurzlebiger chemischer Substanzen aus MIPAS-B Spektren und Vergleich mit Simulationen eines Box-Modells : Diss. / A.Wiegele, 2006. - V, 112 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6566 : Improvement of the SCDAP/RELAP5 code with respect to FZK experimental facilities / W. Hering, Ch. Homann, 2007. - VI, 87 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7330 : Jahresbericht 2006 der Hauptabteilung Sicherheit / ed.: M. Urban, A. Bickel, 2007. - IX, 183 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7170 : Kraftstoff, Strom und Warme aus Stroh und Waldrestholz : eine systemanalytische Untersuchung / L. Leible [et al.], 2007. - VIII, 117 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7418 : Experimentezum Versagen des Dichtkastens fur die Materialschleusenverschraubung im Containment des KKW Philippsburg II / G. Messemer, 2008. - 15 S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыFrey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный.Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный.Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный.Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный.Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный.Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный.Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный.Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМоро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный.
Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков, 2011. - 175 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 8 : Физико-механические компоненты наносистем / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов, 2011. - 182 с. - Текст : непосредственный.Hiroshima H. Sinopsis / H.Hiroshima, 2000. - II,55 p. p. - Текст : непосредственный.Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 172 : Microlithography molecular imprinting / with contributions by H. Ito, J. D. Marty, M. Mauzak, 2005. - 276 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7286 : Nanokontaktdrucken mit AFM-gesteuert phasenseparierten Blockcopolymerschichten : Diss. / R. Groger, 2007. - VI, 130 S. - Текст : непосредственный.Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный.Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный.Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный.Марголин В.И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб.пособие / В.И.Марголин,В.А.Тупик, 2000. - 55 с. - Текст : непосредственный.Гайфуллин Б.Н. Система подготовки данных для электронно-лучевой литографии : Препринт / Б.Н.Гайфуллин, 1993. - 20 c. - Текст : непосредственный.Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный.Сейсян, Рубен Павлович. Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян, 2024. - 133 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Буторин, Павел Сергеевич. Эффективный плазменный источник излучения экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны λ=11.2 им для нанолитографии: особенности физических процессов и методы управления интенсивностью : 1.3.6. оптика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Буторин Павел Сергеевич, 2025. - 32 с. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| |
Заказ фрагмента документа ₽