• ВХОД
  •  

    Полное описание

    International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (39 ; 1995 ; S.l.). Papers from the 39th International conference on electron,ion and photon beam technology and nanofabrication / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (39; 1995; S.l.). - Woodbury(NY) : [s. n.], 1995. - A22,2153-3235 p. p. - (Journal of vacuum science & technology B ; vol.13,N 6,1995). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей

    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7(062)
    47.13.33621.3.049.76.002(063)

    Рубрики:
    Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
    Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ЭЛЕКТРОННО-ИОННАЯ ОБРАБОТКА
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873/Vol.13,N 6,1995)

    Шифр в сводном ЭК: 485596e3da74f9325a6fe3bba246e3b9



    Заказ фрагмента документа ₽