• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Панфилов, И. В. Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / И. В. Панфилов. - М., 2002. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 22

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:548.5(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-9260)

    Шифр в сводном ЭК: 2f658d60ece63eb58180325fd58ed4ad



    Заказ фрагмента документа ₽