• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Родионов, И. А. Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.14 / И. А. Родионов. - 2010. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17 (13 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14-047.84(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-22165)

    Шифр в сводном ЭК: 7e6b459342fd788c4548e3ff83dcde4f



    Заказ фрагмента документа ₽