Полное описание
Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. - Berlin [etc.] : Springer, 20 - . - Текст : непосредственный. 172 : Microlithography molecular imprinting / with contributions by H. Ito, J. D. Marty, M. Mauzak. - Berlin [etc.], 2005. - 276 p. : ill. - Библиогр.: с. 223-245 (526 назв.). Указ.: с. 247-276
ГРНТИ УДК 47.13.33 621.3.049.77-047.84:776
Рубрики: Электронолитография
Доп. точки доступа: Abe, A.\ed.\
Marty, J. D.
Mauzak, M.
Экз-ры полностью 911431066f36ee73656216f711e13f74 Копия: Нет сведений об экземплярах Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/18179/172)
Шифр в сводном ЭК: 911431066f36ee73656216f711e13f74
Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 200 : Ordered polymeric nanostructures at surfaces / ed.: G. J. Vancso, G. Reiter; with contributions by K. Albrecht, M. Al-Hussein, M. Alonso, C. Aparicio, F. J. Arias [et al.], 2006. - XVIII, 263 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 174 : Neutron spin echo in polymer systems / D. Richter [et al.], 2005. - XI, 245 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 177 : Poly(arylene ethynylene)s : from synthesis to application / ed. C. Weder; with contributions by L. Blankenburg, U/H/F/ Bunz, E. Klemm, J.S. Moore, T. Pautzsch [et al.] , 2005. - X, 271 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 175 : Polymer particles / ed. M. Okubo; with contributions by A. Butte, P.Y. Chow, J.M.DeSimone, K. Fontenot, L.M.Gan [et al.], 2005. - X, 370 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 178 : Polymeric and inorganic fibers / with contributions by J.J.M. Baltussen, P. den Decker, T. Ishikawa, M.G. Northolt, S.J. Picken [et al.], 2005. - VI, 168 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 182 : Polymer analysis polymer theory / with contributions by S. Anantawaraskul, H. Aoki, A. Blumen, A. A. Gurtovenko, H. Hillborg [et al.], 2005. - VI, 308 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 183 : Phase behavior of polymer blends / ed. K. F. Freed; with contributions by N. Clarke, J. Dudowicz, K. F. Freed, D. Schwahn, 2005. - X, 199 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 203 : Polymers for regenerative medicine / ed. C. Werner; with contributions by J. H. Elisseeff, C. Fischbach, T. Freier [et al.], 2006. - XI, 227 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 184 : Crosslinking in materials science : technical applications / ed. B. Ameduri, B. Boutevin, P. Czub, P. Penczek, J. Pielichowski [et al.], 2005. - VI, 237 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 176 : Metathesis polymerization / ed. M. R. Buchmeiser; with contributions by T. W. Baughman, M. R. Buchmeiser, G. Fuchs, S. Riegler, C. Slugovc [et al.], 2005. - VI,142 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 179 : Inorganic polymeric nanocomposites and membranes / with contributions by O. Becker, B. Boutevin, F. Guida-Pietrasanta, N. Hasegawa, M. Klapper [et al.], 2005. - VI,220 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 194 : Enzyme-catalyzed synthesis of polymers / ed.: S. Kobayashi [et al.]; with contributions by D. L. Kaplan, S. Kobayashi, S. Matsumura, M. Ohmae, M. Reihmann [et al.], 2006. - X, 254 p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 199 : Emissive materials. Nanomaterials / ed.: A. Abe [et al.]; with contributions by T. Fuhrmann-Lieker, A. C. Grimsdale, J. Jang, M. Kaneko, K. Mullen [et al.] , 2006. - VI, 289 p. - Текст : непосредственный. Subthreshold antiproton production in pA, dA and A reactions / Y. Sugaya, D. Ashery, J. Chiba, H. Ito, 1997. - 41 kol. - Текст : непосредственный. Research on exploration methods for fractured-type geothermal reservoirs / Ed.: T. Miyazaki, H. Ito, 1995. - 413 p. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Study on thermal performance of vertical gravity-assisted heat pipes irradiation capsules : доклад, тезисы доклада / M. Li, H. Ito, T. Siraishi, 1990. - 40 мкфш. - Текст : непосредственный. Three-step explicit finite element computation of shallow water flows on a massively parallel computer / K. Kashiyama, H. Ito, M. Behr, T. Tezduyar, 1994. - 16 p. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Polymer therapeutics. 2 : Polymers as drugs, conjugates and gene delivery systems / ed. R. Satchi-Fainaro, R. Duncan; with contributions by V. Y. Alakhov, S. Allen, C. M. Barnes [et al.], 2006. - VI, 228 p. - Текст : непосредственный. Polymer therapeutics. 1 : Polymers as drugs, conjugates and gene delivery systems / ed. R. Satchi-Fainaro, R. Duncan; with contributions by R. J. Amir, P. K. Dhal, R. Duncan [et al.], 2006. - VI, 204 p. - Текст : непосредственный. Intrinsic molecular mobility and toughness of polymers. 1 / ed. H.-H. Kausch; with contributions by J. L. Halary, H.-H. Kausch, F. Laupretre, G. H. Michler, L. Monnerie, 2005. - X,390 p. - Текст : непосредственный. Interphases and mesophases in polymer crystallization. 2 / ed. G. Allegra; with contributions by A. Abe, F. Auriemma, S. Bracco, A. Comotti, P. Corradini [et al.], 2005. - X,204 p. - Текст : непосредственный. Interphases and mesophases in polymer crystallization. 1 / ed. G. Allegra; with contributions by D. C. Bassett, D. S. M. De Silva, P. H. Geil, T.-C. Long, B. Lotz [et al.], 2005. - X,220 p. - Текст : непосредственный. Interphases and mesophases in polymer crystallization. 3 / ed. G. Allegra; with contributions by G. Allegra, D. Frenkel, M. Hikosaka, W. Hu, M. Imai [et al.], 2005. - X,303 p. - Текст : непосредственный. Intrinsic molecular mobility and toughness of polymers. 2 / ed. H.-H. Kausch; with contributions by V. Altstadt, M. C. Baietto-Dubourg, C.-M. Chan, A. Chateauminois, R. Estevez [et al.], 2005. - X,262 p. - Текст : непосредственный. Liquid crystal elastomers: materials and applications / Ed. W. H. de Jeu, 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Mass spectrometry of polymers – new тechniques / Ed. M. Hakkarainen, 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Bio-synthetic polymer conjugates / Ed. H. Schlaad, 2013 r=on-line. - Текст : электронный. Hierarchical macromolecular structures: 60 Years after the Staudinger Nobel Prize II : сборник / Ed. V. Perces, 2013 r=on-line. - Текст : электронный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Polyelectrolyte Complexes in the Dispersed and Solid State IIvol. 2. Application Aspects / Ed. M. Muller, 2014 r=on-line. - Текст : электронный. P3HT Revisited – From Molecular Scale to Solar Cell Devices / Ed. S. Ludwigs, 2014 r=on-line. - Текст : электронный. Porous Carbons – Hyperbranched Polymers – Polymer Solvation / Ed. T. E. Long, 2015 r=on-line. - Текст : электронный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный. Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный. Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков, 2011. - 175 с. - Текст : непосредственный. Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 8 : Физико-механические компоненты наносистем / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов, 2011. - 182 с. - Текст : непосредственный. Hiroshima H. Sinopsis / H.Hiroshima, 2000. - II,55 p. p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 172 : Microlithography molecular imprinting / with contributions by H. Ito, J. D. Marty, M. Mauzak, 2005. - 276 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7286 : Nanokontaktdrucken mit AFM-gesteuert phasenseparierten Blockcopolymerschichten : Diss. / R. Groger, 2007. - VI, 130 S. - Текст : непосредственный. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный. Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный. Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб.пособие / В.И.Марголин,В.А.Тупик, 2000. - 55 с. - Текст : непосредственный. Гайфуллин Б.Н. Система подготовки данных для электронно-лучевой литографии : Препринт / Б.Н.Гайфуллин, 1993. - 20 c. - Текст : непосредственный. Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный. Сейсян, Рубен Павлович. Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян, 2024. - 133 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Буторин, Павел Сергеевич. Эффективный плазменный источник излучения экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны λ=11.2 им для нанолитографии: особенности физических процессов и методы управления интенсивностью : 1.3.6. оптика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Буторин Павел Сергеевич, 2025. - 32 с. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
