• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Суровцев, И. С. Высокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / И. С. Суровцев. - Воронеж, 1998. - 82 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :Воронеж.гос.техн.ун-т. Библиогр.:с. 72-82 (81 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.002(043)
    47.09.29621.315.592.9.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-043)

    Шифр в сводном ЭК: a2d718eb84cc010c56241275e4b313b1



    Заказ фрагмента документа ₽