• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Берлин, Е. В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. Берлин, Л. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010 (Вологда). - 527 с. : ил. + 12 с. ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце глав. - 1500 экз. - ISBN 978-5-94836-222-9. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.19539.23

    Рубрики:
    Пленки -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Сейдман, Л.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-10/48338)

    Шифр в сводном ЭК: af41b8cb1fb9a7df6144f9b324acaf18



    Заказ фрагмента документа ₽