• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Костомаров, П. С. Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.12 / П. С. Костомаров. - 2015. - 23 с. - Библиогр.: с. 21-23 (20 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14-047.58(043)

    Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- ОБОРУДОВАНИЕ -- УЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-12029)

    Шифр в сводном ЭК: 19e3d986d1ffcc2b3d52bca8196e4771



    Заказ фрагмента документа ₽