• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Кудрявцев, Ю. А. Эмиссия вторичных нейтральных частиц при распылении полупроводниковых соединений ионами низких энергий : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10:01.04.04 / Ю. А. Кудрявцев. - СПб, 1998. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 20-22

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:537.533(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-1144)

    Шифр в сводном ЭК: a29d28396482522c005fcce40fcfb521



    Заказ фрагмента документа ₽