• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Сергеев, В. А. Синтез методов и средства неразрушающего контроля качества полупроводниковых изделий на основе моделей неизотермического токораспределения в приборных структурах : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.01 / В.А. Сергеев. - М., 2005. - 42 c. : ил. - Библиогр.: с. 35-42(98 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.382.002:658.562(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар05-9885)

    Шифр в сводном ЭК: cf1463375423d4ef31c41d97b3a2e407



    Заказ фрагмента документа ₽