Приложение
для AndroidПолное описание
Царьгородцев, Ю. П. Интенсификация процессов массопереноса в установке с СВЧ-ЭЦР-плазмой : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.14 / Ю. П. Царьгородцев. - М., 1997. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Моск.гос.ун-т леса. Библиогр.:с. 18-19 (6 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76.002.5(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР97-3620)
Шифр в сводном ЭК: afbe28ed677e33349acf69adc0c97788
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыДавыдов В.Н. Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Н. Давыдов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный.
Ращинский В.П. Разработка и исследование технических средств гибкой автоматизированной системы сборки специального технологического оборудования микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / В. П. Ращинский, 1990. - 24 с. - Текст : непосредственный.Павлов А.Ю. Информационная система поддержки принятия решений при проектировании пьезосканеров для нанотехнологии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.12 / А. Ю. Павлов, 2006. - 19 с. - Текст : непосредственный.Фатьянова Г.И. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Г. И. Фатьянова, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Стекольников А.Ф. Численное моделирование процессов в корпускулярно-оптических системах и реакторных камерах оборудования для модификации поверхностных свойств материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:05.27.02 / А. Ф. Стекольников, 1993. - 35 с. - Текст : непосредственный.Колесников С.А. Бесконтактная кондуктометрия. Теория и эксперимент : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.07 / С. А. Колесников, 1998. - 21 с. - Текст : непосредственный.Кравец Л.И. Разработка методов получения полипропиленовых трековых мембран : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.13 / Л. И. Кравец, 1998. - 24 с. - Текст : непосредственный.Царьгородцев Ю.П. Интенсификация процессов массопереноса в установке с СВЧ-ЭЦР-плазмой : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.14 / Ю. П. Царьгородцев, 1997. - 19 с. - Текст : непосредственный.Арсенин А.В. Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / А.В. Арсенин, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Михальцов Е.П. Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Е. П. Михальцов, 1998. - 22 с. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Заказ фрагмента документа ₽