• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Трохин, В. Е. Получение особо чистых триметилалкоксисиланов для микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.19 / В. Е. Трохин. - М., 1993. - 21,7. с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Гос.НИИ хим.реактивов и особо чистых хим. веществ. Библиогр.: с.21 ( 5 назв. )

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.3.049.76.002.3(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-7057)

    Шифр в сводном ЭК: b930b61600c8997f31c10434e805f42b



    Заказ фрагмента документа ₽