• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Бондарева, Т. В. Численное моделирование диффузии примесей III и Y групп в кремнии при высокотемпературной ионной имплантации / Т. В. Бондарева, В. И. Кольдяев, Л. Н. Александров. - Новосибирск : [б. и.], 1991. - 20 с. - (Препринт ; 4). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:548.4(04)

    Рубрики:
    Полупроводники -- Примеси

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- ПРИМЕСЬ
    Доп. точки доступа:
    Кольдяев, В.И.
    Александров, Л.Н.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/19085/4)

    Шифр в сводном ЭК: 2b0a66b2c5ef989b5c41d8b9e49536d5



    Заказ фрагмента документа ₽