Полное описание

Волкова, Е. А. Моделирование лазерно-стимулированных процессов травления и осаждения в микротехнологии / Е. А. Волкова, А. С. Ковалев, А. М. Попов. - М. : [б. и.], 1991. - 24 с. : ил. - (Препринт ; 91-30/234). - 75 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.35	621.3.049.76.001.57(04)
47.01.77

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Обработка лазерная -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПОЛУПРОВОДНИК -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Ковалев, А.С.
Попов, А.М.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/45578/91-30/234)

Шифр в сводном ЭК: 3a39251daf8910b9270b009605230cb0

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽