Полное описание

Гаман, В. И. Физика полупроводниковых газовых сенсоров / В. И. Гаман. - Томск : Изд-во НТЛ, 2012. - 110 с. : ил. - Библиогр.: с. 103-105 (43 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-89503-491-0. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Нац. исслед. Том. гос. ун-т.

ГРНТИ	УДК
59.35.29	543.27.08

Рубрики:
Газоанализаторы полупроводниковые

Аннотация: Рассмотрены физические принципы работы полупроводниковых газовых сенсоров на основе тонких пленок металлооксидных полупроводников, кремниевых МОП-структур и туннельных МОП-диодов. Представлен детальный анализ механизмов воздействие окислительных и восстановительных газов на электрические характеристики сенсоров.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-12/90061)

Шифр в сводном ЭК: 0d0f6848056f4d3f9e5ed4f8601b7b01

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽