Приложение
для AndroidПолное описание
Беляев, Н. В. Чистые производственные помещения микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / Н. В. Беляев. - Воронеж : Воронеж. гос. техн. ун-т, 2013. - 137 с. : ил. - Библиогр.: с. 135-136 (15 назв.). - 250 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 697.9 |
Рубрики:
Стерильные помещения
Аннотация: Стратегия обеспечения качества продукции микро- и наноэлектроники. Среды, используемые в производстве изделии микро- и наноэлектроники. Влияние среды на показатели технологических процессов микро- и наноэлектроники. Пути получения и обеспечения качества рабочих сред. Чистые производственные помещения и чистые комнаты. Средства и методы измерений размеров и счётной концентрации частиц в воздухе в чистых комнатах. Уборка чистых помещений.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-13/6569)
Шифр в сводном ЭК: 2a785234ad960ade549fb440cc821f17
Беляев Н.В. Автоматизация эскизно-технического проектирования автогрейдера / Н. В. Беляев, 2009. - 18 с. - Текст : непосредственный.Щербаков В.С. Автоматизация проектирования планировочных машин на базе колесных тракторов / В. С. Щербаков, Н. В. Беляев, П. Ю. Скуба, 2012. - 130 с. - Текст : непосредственный.Беляев Н.В. Чистые производственные помещения микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / Н. В. Беляев, 2013. - 137 с. - Текст : непосредственный.Беляев Н.В. Разработка и исследование генераторов детерминированного хаоса для телекоммуникационных систем : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.12.13 / Н. В. Беляев, 2009. - 16 с. - Текст : непосредственный.Беляев Н.В. Элементы устройств с контролируемой средой оборудования электронной промышленности : учеб. пособие / Н. В. Беляев, 2012. - 207 с. - Текст : непосредственный.Щербаков В.С. Система автоматизации эскизного проектирования автогрейдера / В. С. Щербаков, Н. В. Беляев, В. В. Беляев, 2009. - 133 с. - Текст : непосредственный.Летопись природы / Министерство природных ресурсов и экологии Российской Федерации, Висимский государственный природный биосферный заповедник. Кн. 48 : .. за 2022 год / Беляев Н. В., Бирюкова П. И., Сибгатуллин Р. З. [и др.], 2023. - 148 с. - Текст : непосредственный.Применение искусственного интеллекта в военной сфере: обзор / Макеев А. В., Зотов Д. С., Беляев Н. Н., Жердев Д. В. - Текст (визуальный) : непосредственный // Трансформация национальной научной школы России: от идеи к реализации : сборник статей Национальной (Всероссийской) научно-практической конференции с международным участием, 22 октября 2023 г., [Уфа] / Omega science международный центр инновационных исследований. - Уфа : МЦИИ ОМЕГА САЙНС, 2023.- С.17-20
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЧистые помещения / Ред. И. Хаякава, 1990. - 454 с. - Текст : непосредственный.Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации : монография / В. Уайт, 2002. - 301 с. - Текст : непосредственный.Минкин М.Л. Технологическая экология в производстве микроэлектроники / М. Л. Минкин, Н. К. Микитась, 1997. - 75 с. - Текст : непосредственный.Fischbacher J. Planungsstrategien zur stromungstechnischen Optimierung von Reinraum-Fertigungsgeraten / J. Fischbacher, 1991. - 144 S. - Текст : непосредственный.Probleml@:osungen in der Reinraumtechnik : материалы временных коллективов, 1988. - 241 S. - Текст : непосредственный.Гусева Е.В. Организация чистых помещений. Применение изоляторных технологий : выставочные материалы / Е. В. Гусева, А. Ю. Троянкин, Н. В. Меньшутина, 2015. - 56 с. - Текст : непосредственный.
Sato S. Particle transport at low pressure : Particle deposition in a tube with an abrupt contraction / S.Sato,D.-R.Chen,D.Y.H.Pui, 2000. - 15 p. - Текст : непосредственный.Веревкина М.Н. Чистые производственные помещения в биологической промышленности : учеб. пособие / сост. М. Н. Веревкина, 2010. - 148 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Чистые помещения / А.Е.Федотов,Г.Г.Шихт,В.И.Калечиц и др.;Под ред. А.Е.Федотова, 1999. - 319 с. - Текст : непосредственный.Проектирование чистых помещений : сб. ст.: пер. с англ. / Ред. В. Уайт, 2004. - 343 с. - Текст : непосредственный.Чистые помещения в фармацевтическом производстве : учеб. пособие / Ю. А. Морозов [и др.], 2014. - 113 с. - Текст : непосредственный.Алексович М.М. Расчет и эксплуатация рециркуляционных контуров чистых производственных помещений : Материалы к 3-й науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90" / М.М.Алексович,В.И.Каракеян,А.С.Рябышенков;Под ред. Ушакова В. И., 1990. - 76 с. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / Ин-т "Электроника". Вып. 5(1669) : Требования к помещениям прецизионного производства электронной техники:По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1981-1990 гг. / Г.Л.Гольденберг,В.И.Кучеренко.Г.П.Шульпин,А.А.Штернов, 1992. - 48 с. - Текст : непосредственный.Беляев Н.В. Чистые производственные помещения микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / Н. В. Беляев, 2013. - 137 с. - Текст : непосредственный.Федотов А.Е. Чистые помещения / А. Е. Федотов, 2015. - 512 с. - Текст : непосредственный.Контроль параметров чистых помещений : сб. ст. из журн. "Чистые помещения и технол. среды", 2008. - 269 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Денисихина Д.М. Использование программы STAR-CCM+ при проектировании систем вентиляции : выставочные материалы / Д. М. Денисихина, 2013. - 66 с. - Текст : непосредственный.Зоря И.В. Исследование вентиляции на заводах стекольной промышленности : специальность 05.23.03 "Теплоснабжение, вентиляция, кондиционирование воздуха, газоснабжение и освещение" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / И. В. Зоря, 1995. - 22 с. - Текст : непосредственный.Поздюнин В. Новый метод расчета трубопроводов вентиляционных и водяных. Определение размеров труб круглого и прямоугольного сечений по заданным расходу Q и напору H : монография / В. Поздюнин, 1915. - 71 с. - Текст : непосредственный.Еремкин А.И. Отопление и вентиляция жилого здания / А. И. Еремкин, Т. И. Королева, Н. А. Орлова, 2003. - 142 с. - Текст : непосредственный.Монтаж, эксплуатация и сервис систем вентиляции и кондиционирования воздуха : учебное пособие / С. И. Бурцев, А. В. Блинов, Б. С. Востров, В. Е. Минин, 2005. - 375 с. - Текст : непосредственный.Житов В.Г. Исследование и обеспечение параметров микроклимата жилых и общественных зданий методами оптимального планирования эксперимента : специальность 05.23.03 "Теплоснабжение, вентиляция, кондиционирование воздуха, газоснабжение и освещение" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. Г. Житов, 2007. - 20 с. - Текст : непосредственный.Руководство по проектированию воздухоприготовительных центров с теплоутилизаторами : Утв.Техн.упр.ГлавАПУ. Ч. 2 : Воздухо-воздушные теплоутилизаторы, 1989. - 93 с. - Текст : непосредственный.Лившиц М.Н. Аэроионификация. Практическое применение / М. Н. Лившиц, 1990. - 169 c. - Текст : непосредственный.Чистые помещения / Ред. И. Хаякава, 1990. - 454 с. - Текст : непосредственный.Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации : монография / В. Уайт, 2002. - 301 с. - Текст : непосредственный.Назаров Г.Е. Пылеулавливание в аппаратах различного конструктивного оформления : специальность 05.17.08 "Процессы и аппараты химических технологий" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Г. Е. Назаров, 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный.Овсянников Ю.Г. Рециркуляционные системы аспирации оборудования механической обработки сыпучих материалов : специальность 05.02.13 "Машины, агрегаты и процессы (по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / Ю. Г. Овсянников, 2000. - 23 с. - Текст : непосредственный.Овчинников Е.В. Исследование локальных характеристик промышленных объектов и их элементов при сложных граничных условиях : специальность 05.14.04 "Промышленная теплоэнергетика" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / Е. В. Овчинников, 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный.Документы межотраслевого применения по вопросам промышленной безопасности и охраны недр : сер. 03 / Федеральная служба по экологическому, технологическому и атомному надзору. Вып. 16(2007) : Правила безопасности при эксплуатации дымовых и вентиляционных промышленных труб : ПБ 03-445-02, 2007. - 39 с. - Текст : непосредственный.Аверкова О.А. Вычислительный эксперимент в аэродинамике вентиляции : учебное пособие / О. А. Аверкова, 2011. - 109 с. - Текст : непосредственный.Румянцева И. А. Сборник задач по вентиляции и кондиционированию воздуха : выставочные материалы / И. А. Румянцева, 2013. - 99 с. - Текст : непосредственный.Жерлыкина М. Н. Системы обеспечения микроклимата зданий и сооружений : выставочные материалы / М. Н. Жерлыкина, С. А. Яременко, 2013. - 159 с. - Текст : непосредственный.Рудыка Е.А. Исследование особенностей улавливания из отработанного воздуха пищевой пыли с целью создания высокоэффективных аппаратов очистки : специальность 05.18.12 "Процессы и аппараты пищевых производств" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / Е. А. Рудыка, 1997. - 25 с. - Текст : непосредственный.Борисоглебская А.П. Охрана воздушного бассейна : выставочные материалы / А. П. Борисоглебская, А. Г. Рымаров, 2012. - 75 с. - Текст : непосредственный.Крюков Е.В. Промышленная вентиляция и обеспыливание воздуха : выставочные материалы / Е. В. Крюков, 2014. - 258 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽