• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Смирнов, В. П. Композиции на основе десорбента "А" в технологии изготовления интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 02.00.01 / В. П. Смирнов. - М., 1991. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :ВНИИ хим. реактивов и особо чистых хим. веществ(ИРЕА). Библиогр.:с. 27(5 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84:621.794(043)
    47.13.11

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-03706)

    Шифр в сводном ЭК: 504ccc85bf63edfe067e064b56d113b6



    Заказ фрагмента документа ₽