Полное описание
> Смирнов, В. П. Композиции на основе десорбента "А" в технологии изготовления интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 02.00.01 / В. П. Смирнов. - М., 1991. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный. В надзаг. :ВНИИ хим. реактивов и особо чистых хим. веществ(ИРЕА). Библиогр.:с. 27(5 назв.)
ГРНТИ УДК 47.33.31 621.3.049.77-047.84:621.794(043) 47.13.11
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-03706)>
Шифр в сводном ЭК: 504ccc85bf63edfe067e064b56d113b6
Пути ученого. Е. П. Велихов / под общей редакцией В. П. Смирнова, 2007. - 655 с. - Текст : непосредственный. Экономика таможенного дела : выставочные материалы / А. Я. Черныш, Е. Л. Андрейчук, А. В. Баранова [и др.] ; ред. А. Я. Черныш, 2013. - 427 с. - Текст : электронный. Васильев М.В. Автомобильный транспорт карьеров, 1973. - 279 с. - Текст : непосредственный. Высшая школа физики : серия / редкол.: В. П. Смирнов (пред.) [и др.]. Вып. 6 : Актуальные вопросы космологии : курс лекций / В. А. Рубаков, 2015. - 272 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.П. Теория карьерного большегрузного автотранспорта / В. П. Смирнов, Ю. И. Лель ; ред. В. Л. Яковлев, 2002. - 354 с. - Текст : непосредственный. Юматов Б.П. Открытая разработка сложноструктурных месторождений цветных металлов, 1973. - 192 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Смирнов В.П. О научной деятельности академика Е. К. Завойского в Курчатовском институте (к 100-летию со дня рождения Героя Социалистического Труда, Лауреата Государственной и Ленинской премий, академика АН СССР) / В. П. Смирнов, В. А. Скорюпин, 2007. - 27 с. - Текст : непосредственный. Высшая школа физики : серия / редкол.: В. П. Смирнов (пред.) [и др.]. Вып. 8 : Классические задачи физики горячей плазмы : курс лекций : учеб. пособие / В. И. Ильгисонис, 2015. - 325 с. - Текст : непосредственный. Использование калифорния для нейтронно-абсорбционного определения концентрации веществ / В.П.Смирнов,В.Н.Гнеушев,В.В.Чесанов,И.В.Рогожина, 1989. - 11 с. - Текст : непосредственный. Гафуров Х.Л. Системы автоматизированного проектирования : Учеб.пособие для студентов образоват.учреждений сред.проф.образования по спец.2104"Автомат.системы упр." / Х. Л. Гафуров, Т. Х. Гафуров, В. П. Смирнов, 2000. - 319 с. - Текст : непосредственный. Высшая школа физики : серия / редкол.: В. П. Смирнов (пред.) [и др.]. 1(2013) : Лекции по физике экстремальных состояний вещества / В. Е. Фортов, 2013. - 234 с. - Текст : непосредственный. Высшая школа физики : серия / редкол.: В. П. Смирнов (пред.) [и др.]. 4 : Актуальная радиобиология : курс лекций / Л. А. Ильин [и др.], 2015. - 237 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.П. Химия без репетитора : пособие для подгот. к сдаче ЕГЭ и вступ. экзаменам в вузы / В. П. Смирнов, 2017. - 703 с. - Текст : непосредственный. Дизель-троллейвозный транспорт на карьерах / В.Л.Яковлев,В.П.Смирнов,Ю.И.Лель,Э.В.Горшков;Отв. ред. И. Н. Черский, 1991. - 104 c. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6947 : Simultaneous dissolution of UO2 and ZrO2 by molten Zircaloy new experiments and modelling / K.M@:uller,А.В.Горячев,В.П.Смирнов;Muller K., Горячев А.В., Смирнов В.П. et al., 2004. - 98 p. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Захаров Н.П. Механические явления в интегральных структурах / Н. П. Захаров, А. В. Багдасарян, 1992. - 144 с. - Текст : непосредственный. Шугуров А.Р. Эволюция рельефа поверхностей тонких пленок в процессе их формирования при внешних воздействиях: фрактальный анализ : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Р. Шугуров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный. Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Кристовский Г.В. Электронно-физическое моделирование КМОП БИС / Г. В. Кристовский, Л. А. Маслова, Ю. В. Фастовец, 1990. - 15 с. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Multiple-valued logic in VLSI design / Ed. J. T. Butler, 1991. - VII,120 p. p. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Малинаускас К.К. Разработка математического и программного обеспечения систем топологического проектирования СБИС с использованием диаграмм Вороного : специальность 05.13.11 "Математическое и программное обеспечение вычислительных машин,комплексов и компьютерных сетей" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. К. Малинаускас, 2007. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Баринов С.В. Разработка и исследование комплекса генетических алгоритмов разбиения схем с учетом временных задержек / С. В. Баринов, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный. Усикова М.А. Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем / М. А. Усикова, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Венцов Н.Н. Исследование и разработка генетических алгоритмов и автоматов адаптации для повышения эффективности доступа к данным САПР СБИС : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)", 05.13.17 "Теоретические основы информатики" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. Н. Венцов, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Галперин В.А. Исследование и разработка процессов прецизионного травления материалов в технологии производства БИС и СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. А. Галперин, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный. Горобчук А.Г. Численное моделирование плазмохимических реакторов травления : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 / А. Г. Горобчук, 2003. - 16 с. - Текст : непосредственный. Сергиенко А.А. Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. А. Сергиенко, 2006. - 25 с. - Текст : непосредственный. Manenschijn A. Ion bombardment and ion-assisted etching in rf discharges : Diss. / A.Manenschijn, 1991. - 147 p. - Текст : непосредственный. Данилкин Е.В. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Е. В. Данилкин, 2008. - 27 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.П. Композиции на основе десорбента "А" в технологии изготовления интегральных схем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 02.00.01 / В. П. Смирнов, 1991. - 27 с. - Текст : непосредственный. Гусев А.В. Реактивное ионно-плазменное травление пленок алюминия для производства микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. В. Гусев, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный. Митрофанов Е.А. Применение масс-спектрометров для исследования процессов реактивного ионно-лучевого травления кремния и пленок диоксида кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / Е. А. Митрофанов, 1992. - 16 с. - Текст : непосредственный. Резванов А.А. Влияние процесса плазмохимического травления на молекулярную структуру и интегральные свойства диэлектриков с ультранизкой диэлектрической проницаемостью : специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. А. Резванов, 2019. - 24 с. - Текст : непосредственный. Абачев М.К. Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогеносодержащих газах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. К. Абачев, 1990. - 26 с. - Текст : непосредственный. Богданова М.А. Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : специальность 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / М. А. Богданова, 2019. - 22 с. - Текст : непосредственный. Пивоваренок С.А. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с медью и алюминием : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.04 / С. А. Пивоваренок, 2008. - 15 с. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽